黄兰友

作品数:9被引量:15H指数:4
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高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅰ.成像原理及仪器特点被引量:4
《电子显微学报》1997年第1期57-64,共8页余健业 谢信能 刘廷壁 邵曼君 黄兰友 
本文简要地叙述了KYKY1500高温环境扫描电镜的一些基本概念:气体的电离效应,背底噪音,偏电压对信号电流的影响及图像形成的原理:并简单地介绍了本电镜的三个主要特殊系统(三级真空系统,环境信号探测系统及高温样品台)的...
关键词:环境扫描电镜 成像原理 高温样品台 电镜 
高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅱ.调试与应用被引量:6
《电子显微学报》1997年第1期65-70,共6页邵曼君 赵万敏 肖骅昭 段岳 余健业 黄兰友 
本文扼要地叙述了KYKY1500高温环境扫描电镜在常温通气状态下及高温通气状态下,为获得分辨率优于60nm的图像所必须的参数选择,及在调试过程中所作的改进。同时。
关键词:环境扫描电镜 高温样品台 电镜 
早期电子显微镜制造的回忆被引量:7
《电子显微学报》1996年第2期344-352,共9页黄兰友 
本文是作者对我国早期电子显微镜研制的个人回忆,包括对1958年和1959年在中国科学院长春光学精密机械研究所研制我国最早的两台电子显微镜的回忆。
关键词:电子显微镜 中国 制造 
在给定探针直径的条件下获取最大的上靶束流
《电子显微学报》1994年第1期53-57,共5页汪滨 黄兰友 
对于一个电子探针系统,我们在考虑了它的球差、色差、衍射以及高斯斑大小的条件下,推导出了一个获得最佳放大倍数和孔径角的公式,这些最佳值可确保该系统在给定探针直径的条件下获得最大的上靶束流。本文中还将阐明:给定束径下使束...
关键词:电子探针 直径 上靶束流 
DJ—2可变矩形电子束曝光机被引量:1
《电子显微学报》1992年第2期137-143,共7页吴明均 黄兰友 
电子束曝光机用于制造超大规模集成电路掩模版。它由电子光学柱、工件台、图形发生器、计算机及控制系统组成。可变矩形电子束曝光机,具有生产效率高,图形产生灵活等优点。束斑形状的变化是通过投影两个方光栏的象来实现的,用静电偏转...
关键词:电子束曝光机 曝光机 VLSI 
阴极形变引起的电子束漂移的实验和计算
《电子显微学报》1989年第3期59-66,共8页程康 黄兰友 
用电子光学系统测量和数值计算两种方法,初步探讨了发叉式钨丝热阴极因热形变引起的电子枪交叉斑的横向漂移,以及电子束方向角的变化,得出了一定条件下的定量关系。
关键词:电子束漂移 阴极形变 数植计算 
具有夹层极靴的新型电子探针透镜的设计与计算
《仪器仪表学报》1983年第4期33-41,共9页雷贺宁 黄兰友 
本文分析讨论了具有夹层极靴的新型探针透镜的设计计算方法。提出采用轴上线性增长线性下降的似优磁场分布,在工作距离给定后,仅用两个场形参量就可以唯一地确定透镜的场形,并可以获得近似最小的球差系数。本中从模型场出发,导出了夹层...
关键词:极靴 工作距离 计算机辅助设计 电子探针 球差 设计原理 形参 加速电压 磁场分布 磁标位 
磁电子透镜的磁路设计被引量:1
《仪器仪表学报》1981年第3期26-34,共9页黄兰友 刘绪平 
本文针对一些典型几何形状的磁路,特别是易于发生饱和的关键部位(如极靴锥面部分,透镜铁芯的根部),在对其磁力线分布提出相应的近似模型后,通过计算磁路表面的磁通密度,得出进入磁路的磁通量,结合磁路各部分的截面积,求得各处的磁通密...
关键词:磁路设计 电子透镜 磁通密度 极靴 透射电子显微镜 铁芯 几何形状 近似模型 磁通计 设计精度 
DX-4透射式电子显微镜设计与调试被引量:4
《仪器仪表学报》1981年第2期1-9,共9页黄兰友 王克定 金鹤鸣 李成达 钟治平 
$DX-4透射电子显微镜的分辨率为2.04A!最高放大倍数为80万倍。本文介绍了DX-4电镜的设计原则,重点在于缩小镜筒体积方面。DX-4是高分辨率电镜中体积较小的。我们对透镜的最短绝对焦距、成象系统的畸变补偿以及透镜磁路设计等电子光学问...
关键词:透射式 成象系统 DX-4 极靴 投影镜 高压电源 高分辨率 标记点 测量方法 透镜组 
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