吴明均

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院科学仪器厂更多>>
发文主题：VLSI可变矩形电子束曝光机电子束曝光机曝光机场分布更多>>
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发文期刊：《仪器仪表学报》《电子显微学报》更多>>
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DJ—2可变矩形电子束曝光机被引量：1
《电子显微学报》1992年第2期137-143,共7页吴明均 黄兰友 
电子束曝光机用于制造超大规模集成电路掩模版。它由电子光学柱、工件台、图形发生器、计算机及控制系统组成。可变矩形电子束曝光机,具有生产效率高,图形产生灵活等优点。束斑形状的变化是通过投影两个方光栏的象来实现的,用静电偏转...
关键词：电子束曝光机 曝光机 VLSI 
探针振动法测定旋转对称磁透镜的场分布
《仪器仪表学报》1986年第2期149-154,共6页吴明均 R Murillo 
电磁透镜是电子显微镜和微分析仪器等电子光学仪器的基本元件。电磁透镜的特性尤其是物镜决定着这些仪器的主要性能。如果我们知道了电磁透镜的轴上场分布,则它的电子光学特性就可以计算出来。探针振动法就是用来直接测量旋转对称电磁...
关键词：电磁透镜 旋转对称 振动法 电子光学仪器 光学特性 电磁感应原理 基本元件 正弦振动 测量线 被测量 
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