王惠泉

作品数：1被引量：6H指数：1
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供职机构：浙江大学信息与电子工程学系更多>>
发文主题：微机械陀螺微机械加工陀螺噪声特性噪声更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《Journal of Semiconductors》更多>>
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大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性被引量：6
《Journal of Semiconductors》2005年第1期148-152,共5页陈永 焦继伟 王惠泉 金仲和 张颖 熊斌 李昕欣 王跃林 
国家重点基础研究发展规划资助项目 (批准号 :G19990 3 3 10 1)~~
设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺 .该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼 ,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度 ,同时降低了陀螺的热机械噪声 .对陀螺噪声特性进行的分析表明 ,该陀螺具有相对很低...
关键词：陀螺 微机械加工 噪声 滑膜阻尼 
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