蔡昕

作品数:6被引量:32H指数:4
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供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文主题:表面形貌分束角干涉显微镜相衬显微镜形貌更多>>
发文领域:机械工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《清华大学学报(自然科学版)》《光学精密工程》《仪器仪表学报》《光学技术》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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可定量测量的透射式微分干涉显微系统被引量:2
《清华大学学报(自然科学版)》2003年第2期149-151,共3页徐毓娴 蔡昕 董小满 李文江 
国家自然科学基金资助项目(59975052)
为满足透明体表面形貌定量测量的需要,研制成功了透射式微分干涉显微测量系统,该系统包括透射式微分干涉显微镜,CCD摄像机,检偏器旋转驱动部件,计算机及相关测量软件。介绍了测量原理、公式、相移干涉方法以及将一台普通反射式干涉显微...
关键词:定量测量 透射式微分干涉显微系统 相移 表面形貌 测量原理 非接触光学测量 
干涉显微镜中相移误差分析被引量:4
《光学技术》2002年第6期539-540,共2页徐毓娴 董小满 蔡昕 惠梅 
国家自然科学基金资助项目 ( 599750 52 )
相移误差是影响干涉显微镜测量表面形貌精度的主要因素之一。介绍了四帧算法、五帧算法、四帧免疫算法、五帧免疫算法的原理和计算公式 ,并对其特点进行了分析比较。利用自行研制的带旋转检偏器的干涉显微测量系统 ,分别用四种算法对Ra=...
关键词:微分干涉显微镜 相移误差 算法 表面形貌测量 
微分干涉相衬显微镜中偏光棱镜设计被引量:3
《光学技术》2001年第3期229-231,234,共4页蔡昕 徐毓娴 张志利 
国家自然科学基金资助 !(599750 52 )
微分干涉相衬显微测量术在生物医学、材料科学等领域中有广泛应用 ,其中偏振分光棱镜设计是关键技术之一。对应用于微分干涉相衬显微系统中的偏振分光棱镜 Nomarski棱镜的主要参数之间的关系进行分析 ,并做了设计计算 ,得出了一些有实...
关键词:微分干涉相衬 Nomarski棱镜 分束角 相干平面 显微镜 显微测量 
图像处理技术在形貌测量中的应用被引量:7
《仪器仪表学报》2001年第z2期217-218,共2页许谊 徐毓娴 蔡昕 
国家自然基金(599750 52 )资助项目
本文以微分干涉显微法测量表面形貌为例 ,分析影响精度的各种因素 ,重点介绍图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果。证明应用图像处理技术 ,对改善二维、三维图像质量 。
关键词:图像处理 形貌 滤波 
微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌被引量:11
《光学精密工程》2001年第3期226-229,共4页许谊 徐毓娴 惠梅 蔡昕 
国家自然科学基金资助 (批准号 :5 9975 0 5 2 )
改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统 ,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差 β 的消零工作提出了一种新的方法 ,实验证明是有效可靠的 ,并且对样品表面三维形貌重构、截面轮廓比对及系统的测量精度进行了实验研究。
关键词:干涉显微镜 相衬显微镜 形貌测量术 Nomarski显微镜 定量测量 
改进型Wollaston棱镜设计被引量:8
《光学精密工程》2001年第2期131-134,共4页徐毓娴 蔡昕 张志利 
国家自然科学基金资助! (5 9975 0 5 2 )
介绍了改进型 Wollaston棱镜的特点、主要参数及基于这些参数对光学系统结构的设计公式。应用 Matlab软件自编程序对分束角ε与棱镜楔角γ和光轴倾角δ之间 ,相干平面倾角η与棱镜楔角γ和光轴倾角δ之间的关系进行了计算并对结果做了分...
关键词:WOLLASTON棱镜 光学系统 分束角 相干平面 
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