颜建锋

作品数：6被引量：25H指数：4
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供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
发文主题：氧化锌薄膜分子束生长温度分子束外延生长蓝宝石衬底更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《Journal of Semiconductors》《红外与毫米波学报》《激光与红外》《发光学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程中国科学院“百人计划”更多>>
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分子束外延方法生长p型氧化锌薄膜被引量：6
《发光学报》2004年第4期460-462,共3页矫淑杰 梁红伟 吕有明 申德振 颜建锋 张振中 张吉英 范希武 
国家自然科学重点基金 ( 60 3 3 60 2 0 ) ;国家"863"高技术项目 ;新材料领域 ( 2 0 0 1AA3 1112 0 ) ;中国科学院二期创新项目;国家自然科学基金 ( 60 1760 0 3 ;60 2 780 3 1;60 3 760 0 9)资助项目
用等离子辅助分子束外延 (P MBE)的方法 ,在蓝宝石c 平面上外延生长了p型氧化锌薄膜。在实验中采用高纯金属锌作为Zn源、NO作为O源和掺杂源 ,通过射频等离子体激活进行生长。在生长温度 30 0℃ ,NO气体流量为 1.0sccm ,射频功率为 30 0...
关键词：氧化锌薄膜 P型掺杂 一氧化氮 射频等离子体 分了束外延 
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