刘珍

作品数：4被引量：16H指数：2
导出分析报告
供职机构：合肥工业大学机械与汽车工程学院更多>>
发文主题：量子化学磁控溅射ALCL3NH3量子化学计算更多>>
发文领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《真空》更多>>
所获基金：安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-4
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
磁控溅射中电磁场分布及带电粒子运动的模拟与计算被引量：4
《真空》2007年第4期20-23,共4页王君 刘珍 陈长琦 朱武 陈明 
安徽省教育厅自然科学基金资助(2002KJ241ZD)
电磁场分布及其对各种带电粒子的约束情况对磁控溅射过程有着决定性的影响。本文首先利用物理场耦合分析软件Comsol3.2a分析了直流磁控溅射电磁场的分布,并且计算分析了单个带电粒子的运动情况。在此基础上,计算分析了带电粒子束流在电...
关键词：电磁场分布 磁控溅射 模拟 计算 粒子运动 
基于Sigmund理论的溅射产额计算及分析被引量：12
《真空》2007年第2期44-47,共4页陈明 王君 陈长琦 刘珍 
溅射产额是表征溅射效应的重要参数。Sigmund的线性级联碰撞理论在溅射产额计算中获得了广泛的应用和发展。本文对Sigmund理论进行简单介绍,并对基于Sigmund理论的各种经验公式进行分析。在此基础上,对不同条件下的溅射产额进行了计算,...
关键词：Sigmund理论 溅射产额 入射离子能量 
AlCl3+NH3反应体系起始反应的量子化学计算
《真空科学与技术学报》2005年第z1期9-11,31,共4页王君 陈长琦 朱武 陈明 刘珍 
利用AlCl3+NH3反应体系制备氮化铝材料时,体系的初始反应可以按照三种不同路径进行.本文利用密度泛函理论的B3LYP方法,采用6-311++G基组对起始基元反应的反应物及产物进行几何构型优化;利用振动频率分析得到的相关热力学参数,对基元反...
关键词：量子化学 气相反应 反应机理 氮化铝 
化学气相沉积反应研究的量子化学方法及应用
《真空》2004年第6期19-23,共5页王君 陈长琦 朱武 刘珍 陈明 
量子化学方法在研究化学气相沉积反应体系的反应机理、动力学计算方面有很大的潜力。本文分析了化学气相沉积过程的特点,并对量子化学计算的主要方法进行介绍。在此基础上,针对气相和表面基元过程的量子化学研究现状进行总结和评述。
关键词：化学气相沉积 反应机理 综述 量子化学 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部