王君

作品数：22被引量：86H指数：6
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供职机构：合肥工业大学更多>>
发文主题：磁控溅射VO2薄膜反应磁控溅射工艺参数二氧化钒更多>>
发文领域：一般工业技术自动化与计算机技术理学交通运输工程更多>>
发文期刊：《流体机械》《实验室科学》《自动化技术与应用》《机械工程师》更多>>
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基于XML的PDM与三维CAD双向系统集成研究被引量：14
《机械设计与制造》2012年第2期79-81,共3页崔中华 王君 
关于目前制造企业在3C(CAD/CAPP/CAM)应用中遇到的"信息爆炸"和"信息孤岛"问题,提出了以PDM系统为平台与3C系统进行集成的解决方案。针对PDM系统与三维CAD系统的双向系统集成,介绍了基于PDM系统的应用系统集成框架和系统集成的三种模式...
关键词：PDM CAD XML 系统集成 
辅助PECVD的磁场模拟计算与分析
《真空》2010年第2期27-30,共4页陈长琦 赵晶晶 汪洪波 王君 
本文介绍了磁场辅助PECVD工作原理,磁场对沉积薄膜的影响。通过对PECVD中磁场对带电粒子的约束作用、等离子体能量转换频率分析,建立辅助磁场模型并进行数值计算。在现有辅助磁场基础上改进设计适用于PECVD设备的螺线管磁场系统,得到不...
关键词：PECVD 等离子体 辅助磁场 螺线管 
硬质薄膜技术的最新发展被引量：12
《真空》2009年第6期35-39,共5页杨林生 王君 陈长琦 
为满足各技术领域的要求,硬质薄膜业近年来得到了广泛的发展和应用。本文介绍了硬质薄膜技术的最新发展状况,阐述了各技术的特点和代表厂商。首先对CVD及其相关技术的发展情况进行了简介,再对PVD技术在硬质薄膜领域的应用进行了详述,最...
关键词：硬质薄膜 化学气相沉积 物理气相沉积 阴极电弧 磁控溅射 
考夫曼离子源多极磁场结构设计与数值模拟
《真空》2008年第4期83-86,共4页陈长琦 张建国 王君 郭江涛 
论述了考夫曼离子源中两种磁场结构的特点。在采用多极磁场的离子源中,由于放电室内低磁场区的存在,可获得均匀性好的离子束流。采用环形永久磁体改进设计了考夫曼离子源的多极磁场,简化了磁路结构。运用Ansoft软件对多极磁场进行了数...
关键词：考夫曼离子源 多极磁场 环形永久磁体 结构设计 数值模拟 
机床电气与PLC控制教学实验装置的开发研究被引量：7
《自动化技术与应用》2008年第5期57-59,38,共4页夏锡全 杨海东 王君 
针对《机床电气控制与可编程序控制器》课程教学的需要,开发研究出适合本科教学需要的综合实验装置,该装置将工程实践与教学紧密结合,为培养学生工程实践能力、科技创新能力提供了良好的条件。
关键词：机床电气 可编程控制器 实验装置 
直流反应磁控溅射法制备VO_2薄膜被引量：4
《真空科学与技术学报》2008年第2期153-158,共6页陈长琦 王君 陈庆连 方应翠 王旭迪 
安徽省教育厅自然科学研究基金(No.2002kj241ZD)
VO2是一种相变材料。发生相变时,VO2的电阻、透过率、反射率都会发生显著的变化;反应磁控溅射法是制备VO2薄膜的一种比较理想的方法。文中,重点讨论氧氩气质量流量比m(O2)/m(Ar)、基片温度以及沉积后薄膜的退火处理对制备薄膜成分、结...
关键词：反应磁控溅射 二氧化钒 薄膜 沉积条件 
新专业实验室建设经验点滴被引量：9
《实验室科学》2008年第1期131-133,共3页汪洪波 朱武 王君 
根据新专业实验室建设中遇到的问题,指出了加强实验室建设的必要性和紧迫性;介绍了加强实验室建设的一些做法,包括改善实验环境、添置实验设备、编写实验教学大纲和实验指导书、改进实验内容和方法等,最后提出了有待改进的几个方面。
关键词：新专业 实验室建设 教学质量 经验 
一种滤清器旋紧机机械结构的设计被引量：1
《机械工程师》2007年第12期90-91,共2页夏锡全 王君 
针对汽车发动机用机油滤清器的旋紧装配设计,旋紧机设置水平和铅垂调整环节,可针对滤清器不同系列尺寸实现可控定扭矩旋紧,采用PLC作为控制系统,装配可靠性和生产率大大提高。可控定扭矩旋紧机的研制有效解决了滤清器半自动化装配的国...
关键词：滤清器 旋紧机 定扭矩 可控 
磁控溅射中电磁场分布及带电粒子运动的模拟与计算被引量：4
《真空》2007年第4期20-23,共4页王君 刘珍 陈长琦 朱武 陈明 
安徽省教育厅自然科学基金资助(2002KJ241ZD)
电磁场分布及其对各种带电粒子的约束情况对磁控溅射过程有着决定性的影响。本文首先利用物理场耦合分析软件Comsol3.2a分析了直流磁控溅射电磁场的分布,并且计算分析了单个带电粒子的运动情况。在此基础上,计算分析了带电粒子束流在电...
关键词：电磁场分布 磁控溅射 模拟 计算 粒子运动 
基于Sigmund理论的溅射产额计算及分析被引量：12
《真空》2007年第2期44-47,共4页陈明 王君 陈长琦 刘珍 
溅射产额是表征溅射效应的重要参数。Sigmund的线性级联碰撞理论在溅射产额计算中获得了广泛的应用和发展。本文对Sigmund理论进行简单介绍,并对基于Sigmund理论的各种经验公式进行分析。在此基础上,对不同条件下的溅射产额进行了计算,...
关键词：Sigmund理论 溅射产额 入射离子能量 
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