陈庆连

作品数:3被引量:9H指数:2
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供职机构:合肥工业大学机械与汽车工程学院更多>>
发文主题:反应磁控溅射VO2薄膜工艺参数氧化钒VO更多>>
发文领域:理学一般工业技术金属学及工艺电子电信更多>>
发文期刊:《真空科学与技术学报》《合肥工业大学学报(自然科学版)》《红外》更多>>
所获基金:安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
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直流反应磁控溅射法制备VO_2薄膜被引量:4
《真空科学与技术学报》2008年第2期153-158,共6页陈长琦 王君 陈庆连 方应翠 王旭迪 
安徽省教育厅自然科学研究基金(No.2002kj241ZD)
VO2是一种相变材料。发生相变时,VO2的电阻、透过率、反射率都会发生显著的变化;反应磁控溅射法是制备VO2薄膜的一种比较理想的方法。文中,重点讨论氧氩气质量流量比m(O2)/m(Ar)、基片温度以及沉积后薄膜的退火处理对制备薄膜成分、结...
关键词:反应磁控溅射 二氧化钒 薄膜 沉积条件 
DC反应磁控溅射制备VO_2薄膜及XPS分析被引量:3
《合肥工业大学学报(自然科学版)》2005年第10期1260-1263,共4页陈庆连 陈长琦 王君 方应翠 王旭迪 
文章通过改变玻璃基温度和靶基间距,采用m(O2)/m(A r)为1∶12.5,溅射功率为190 W,工作真空度为2.2 Pa,用DC磁控溅射法在玻璃基上沉积VO2薄膜,并经真空退火处理,制备的试样通过XPS测试分析薄膜表面的元素组成及成分。测试分析结果表明,...
关键词:反应磁控溅射 工艺参数 VO2薄膜 XPS分析 
VO_2的MIT特性及应用机理被引量:2
《红外》2005年第9期5-8,共4页陈长琦 陈庆连 王君 方应翠 王旭迪 
本文主要讨论了VO2薄膜的相变温度和相变过程的光电、热致回线宽度的特性,同时分析了对这些特性的主要影响因素,并探讨了VO2薄膜在目前可使用器件中的应用机理。
关键词:VO2 相变 光电开关 热致变色材料 VO2薄膜 应用机理 MIT 相变过程 相变温度 同时分析 
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