管文田

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：南京大学物理学院物理学系更多>>
发文主题：微晶硅薄膜晶化率微结构等离子增强化学气相沉积等离子体化学气相沉积更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《南京大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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微晶硅薄膜的等离子增强化学气相沉积生长特征被引量：3
《南京大学学报（自然科学版）》2008年第4期392-400,共9页左则文 闾锦 管文田 濮林 施毅 郑有炓 
国家自然科学基金(90606021)
本文采用27.12 MHz等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了氢化微晶硅薄膜材料,通过Raman散射谱、X射线衍射、扫描电子显微镜、原子力显微镜和傅立叶变换红外谱等表征方法研究了生长条件参数对薄膜结构及生长速率的影响,对薄膜的生长...
关键词：等离子体化学气相沉积 微结构 晶化率 孵化层 
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