左则文

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：南京大学更多>>
发文主题：微晶硅薄膜沉积速率喷管电感线圈生长温度更多>>
发文领域：理学一般工业技术电气工程电子电信更多>>
发文期刊：《南京大学学报（自然科学版）》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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掺铒Si/Al2O3多层结构中结晶形态对1.54μm发光的影响
《物理学报》2009年第6期4243-4248,共6页王军转 石卓琼 娄昊楠 章新栾 左则文 濮林 马恩 张荣 郑有炓 陆昉 施毅 
国家自然科学基金(批准号:10574062,90606021)资助的课题~~
利用脉冲激光沉积的方法制备掺铒Si/Al2O3多层结构薄膜,获得了由纳米结构的Si作为感光剂增强的Er3+在1.54μm高效发光.利用拉曼散射、高分辨透射电镜和光致发光测量研究了在不同退火温度下(600—1000℃)纳米结构Si层的结晶形态变化,及对...
关键词：铒 纳米硅 能量转移 氧化铝 
微晶硅薄膜的等离子增强化学气相沉积生长特征被引量：3
《南京大学学报（自然科学版）》2008年第4期392-400,共9页左则文 闾锦 管文田 濮林 施毅 郑有炓 
国家自然科学基金(90606021)
本文采用27.12 MHz等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了氢化微晶硅薄膜材料,通过Raman散射谱、X射线衍射、扫描电子显微镜、原子力显微镜和傅立叶变换红外谱等表征方法研究了生长条件参数对薄膜结构及生长速率的影响,对薄膜的生长...
关键词：等离子体化学气相沉积 微结构 晶化率 孵化层 
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