许磊

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：膜区加热电阻对流换热低功耗叉指电极更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊：《测试技术学报》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
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气体探测用低功耗微型加热器研究被引量：1
《测试技术学报》2010年第5期410-413,共4页许磊 李铁 高秀丽 王跃林 
国家重点基础研究发展计划(973)资助项目(2006CB300403);国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2007AA03Z308);国家自然基金委创新团队资助项目(60721004)
介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元...
关键词：MEMS 低功耗 微型加热器 铂 各向异性腐蚀 
静电力驱动的液滴数字传输芯片被引量：1
《功能材料与器件学报》2010年第2期131-136,共6页皋华敏 李铁 许磊 刘翔 王翊 周萍 王跃林 
国家973项目"自上而下的微纳制造原理与方法"(课题编号:2006CB300403);863项目"基于自上而下工艺的高灵敏度硅纳米线生物传感器阵列"(项目编号:2007AA03Z308);国家自然基金委创新团队(编号:60721004)的资助
设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片。通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低。目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,...
关键词：数字微流芯片 静电力 液滴 
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