黄建良

作品数：3被引量：17H指数：3
导出分析报告
供职机构：武汉工程大学更多>>
发文主题：金刚石膜化学气相沉积CVD金刚石薄膜形核大功率更多>>
发文领域：理学一般工业技术自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《真空与低温》《材料导报》《武汉工程大学学报》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置的研究进展被引量：9
《真空与低温》2008年第1期1-5,共5页黄建良 汪建华 满卫东 
国家计委新材料领域重大专项项目([2001]475号)资助
综述了各种微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜装置的结构及工作原理,并对它们各自的优缺点做了比较分析;基于MPCVD金刚石膜装置的发展现状,构想设计了一种新型高效的大功率大面积快速沉积CVD金刚石膜装置,并对其可行性做了初步...
关键词：金刚石膜 微波 化学气相沉积 装置 
CVD金刚石薄膜的形核研究被引量：4
《材料导报》2007年第S2期312-315,共4页黄建良 汪建华 
湖北省高等学校优秀中青年团队项目
实验采用10kW不锈钢谐振腔型微波等离子体化学气相沉积装置,在Mo、Ni、Fe 3种不同类型的异质衬底上进行了金刚石形核研究;实验中发现对衬底采取高温氢等离子体退火处理(处理条件为:微波功率3000W,工作气压8.0kPa,H2流量100sccm,基片温...
关键词：微波化学气相沉积 形核 金刚石膜 
微波法大功率稳定快速沉积CVD金刚石膜被引量：6
《武汉工程大学学报》2007年第4期63-66,共4页黄建良 汪建华 
国家863计划资助项目(715-002-0020)
为了提高微波等离子体化学气相沉积CVD金刚石膜的速率,通过对微波源的磁控管、装置的冷却系统及真空密封技术三方面的改进,当微波频率为2.45 GHz、输出有效功率为6.0 kW以上时,装置能够长期稳定地运行;并在微波输入功率4.5 kW、CH4质量...
关键词：金刚石膜 微波 化学气相沉积 装置 磁控管 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部