黄春明

作品数：3被引量：46H指数：2
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供职机构：兰州大学物理系更多>>
发文主题：氧化锌薄膜半导体材料发光特性退火ZNO更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金甘肃省自然科学基金更多>>
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溶胶凝胶旋转涂敷技术制备ZnO∶In薄膜的结构特性被引量：8
《物理学报》2006年第2期748-752,共5页兰伟 刘雪芹 黄春明 唐国梅 杨扬 王印月 
国家自然科学基金(批准号:50272027)资助的课题.~~
采用溶胶凝胶法,结合旋转涂敷技术在石英衬底上制备了210—240nm厚度的ZnO∶In薄膜.使用掠角入射X射线衍射(GI_XRD)、常规X射线衍射、傅里叶变换红外光谱、原子力显微镜、光致发光谱以及不同入射角GI_XRD谱(α=1,2,3和5°)等手段,对不...
关键词：ZnO:In薄膜 晶体结构 掠角入射X射线衍射 溶胶凝胶法 
Y掺杂Al_2O_3高k栅介质薄膜的制备及性能研究被引量：1
《物理学报》2005年第12期5901-5906,共6页郭得峰 耿伟刚 兰伟 黄春明 王印月 
国家自然科学基金(批准号:50272027)资助的课题.~~
利用射频反应共溅射方法制备了Y掺杂Al2O3电介质薄膜,用掠入射x射线衍射检测了薄膜的结构,用高分辨率扫描电子显微镜(HRSEM)、原子力显微镜(AFM)观察了薄膜断面和表面形貌,用高频C_V和变频C_V及J_V测量了样品的电学特性.结果表明,Y的掺...
关键词：高K栅介质 掺杂氧化铝 射频反应溅射 
退火对多晶ZnO薄膜结构与发光特性的影响被引量：37
《物理学报》2003年第7期1748-1751,共4页方泽波 龚恒翔 刘雪芹 徐大印 黄春明 王印月 
甘肃省自然科学基金(批准号:ZS0 11 A2 5 0 5 0 C)资助的课题~~
用射频反应溅射法在Si(111)衬底上制备了C轴取向的多晶ZnO薄膜 ,通过不同温度的退火处理 ,研究了退火对多晶ZnO薄膜结构和发光特性的影响 .由x射线衍射得知 ,随退火温度的升高 ,晶粒逐渐变大 ,薄膜中压应力由大变小至出现张应力 .光致...
关键词：多晶ZnO薄膜 结构 发光特性 退火 氧化锌薄膜 射频反应溅射法 半导体材料 
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