耿伟刚

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：兰州大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：硅衬底光致发光蓝光ZNO薄膜AL更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《发光学报》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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Y掺杂Al_2O_3高k栅介质薄膜的制备及性能研究被引量：1
《物理学报》2005年第12期5901-5906,共6页郭得峰 耿伟刚 兰伟 黄春明 王印月 
国家自然科学基金(批准号:50272027)资助的课题.~~
利用射频反应共溅射方法制备了Y掺杂Al2O3电介质薄膜,用掠入射x射线衍射检测了薄膜的结构,用高分辨率扫描电子显微镜(HRSEM)、原子力显微镜(AFM)观察了薄膜断面和表面形貌,用高频C_V和变频C_V及J_V测量了样品的电学特性.结果表明,Y的掺...
关键词：高K栅介质 掺杂氧化铝 射频反应溅射 
蓝光ZnO薄膜的特性研究被引量：3
《发光学报》2005年第4期531-534,i0002,共5页朋兴平 杨扬 耿伟刚 杨映虎 王印月 
国家自然科学基金资助项目(50272027)
采用反应溅射法在n型硅(100)衬底上制备了ZnO薄膜,分别用X射线衍射仪、原子力显微镜和荧光分光光度计对样品的结构、表面形貌和光致发光特性进行了表征。X射线衍射结果表明,实验中制备出了应变小的c轴择优取向的ZnO薄膜;原子力显微镜观...
关键词：ZNO薄膜 硅衬底 光致发光 射频反应溅射 
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