夏齐萍

作品数:2被引量:3H指数:1
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供职机构:安徽大学更多>>
发文主题:微结构ZNO薄膜ITAG光电更多>>
发文领域:理学一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊:《人工晶体学报》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家教育部博士点基金安徽省人才开发基金安徽高校省级自然科学研究基金更多>>
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氧氩流量比对ZnO薄膜的微结构及其发光特性的影响被引量:2
《真空科学与技术学报》2011年第4期393-396,共4页汪小小 夏齐萍 吕建国 宋学萍 孙兆奇 
国家自然科学基金(No.50872001;51072001);教育部博士点专项基金(No.20060357003);安徽省人才专项基金(No.2004Z029);安徽高校省级自然科学研究重点项目(No.KJ2010A284)
在室温下,利用射频磁控反应溅射法分别在硅片和石英玻璃上制备ZnO薄膜。通过控制O2/Ar流量比,研究O2/Ar流量比对ZnO薄膜的微结构、表面形貌及其光致发光特性的影响。X射线衍射仪和原子力显微镜结果显示,当O2/Ar流量比为3∶4时,所得薄膜...
关键词:ZNO薄膜 反应溅射 光致发光 氧氩流量比 
射频反应磁控溅射制备ZnO薄膜的微结构及其光学性能被引量:1
《人工晶体学报》2011年第2期430-434,共5页夏齐萍 汪小小 吕建国 宋学萍 孙兆奇 
国家自然科学基金(50872001;51072001);教育部博士点专项基金(20060357003);安徽省人才专项基金(2004Z029);安徽高校省级自然科学研究重点项目(KJ2010A284)
采用射频反应磁控溅射技术在石英和Si衬底上制备了高度c轴择优取向的ZnO薄膜,样品的氧氩流量比分别为10:40,20:40,30:40,40:40。利用X射线衍射仪、表面轮廓仪、原子力显微镜和紫外-可见分光光度计研究了样品的微结构与光学特性。研究表...
关键词:射频反应磁控溅射 ZNO薄膜 微结构 光学性能 
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