王翠英

作品数:2被引量:16H指数:1
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供职机构:泰山医学院更多>>
发文主题:磁控溅射ZNO:GAZNO光电特性射频磁控溅射制备更多>>
发文领域:一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊:《功能材料与器件学报》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
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射频磁控溅射制备ZnO∶Ga透明导电膜及特性被引量:15
《Journal of Semiconductors》2005年第2期314-318,共5页余旭浒 马瑾 计峰 王玉恒 王翠英 马洪磊 
国家自然科学基金(批准号:6027044);博士点基金(批准号:20020422056)资助项目~~
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出高质量的镓掺杂氧化锌 (ZnO∶Ga)透明导电膜 ,并对薄膜的结构和光电特性以及制备参数对薄膜性能的影响进行了研究 .制备的ZnO∶Ga是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜 ,最佳择优取向为 (0 0 2 )方向 ....
关键词:磁控溅射 ZNO:GA 光电特性 
溅射法生长Mg_xZn_(1-x_O薄膜的结构和光学特性被引量:1
《功能材料与器件学报》2005年第1期11-14,共4页张锡健 马洪磊 王卿璞 马瑾 宗福建 肖洪地 计峰 王翠英 
教育部博士点基金项目(项目编号:20020422056)
用射频磁控溅射法在不同衬底上制备出了MgxZn1-xO薄膜。X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)研究结果表明,薄膜为六角纤锌矿结构,具有(002)方向择优取向;随氧分压增加,(002)衍射峰的角度变大,表征薄膜表面粗糙程度的方均根粗糙度减小。...
关键词:MgxZn1-xO薄膜 射频磁控溅射 光致发光 
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