张锡健

作品数:18被引量:104H指数:6
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发文主题:射频磁控溅射磁控溅射退火ZNO:GA光致发光更多>>
发文领域:电子电信理学一般工业技术更多>>
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退火对FeZrBNb薄膜磁特性和巨磁阻抗效应的影响
《山东教育学院学报》2009年第3期73-75,共3页袁慧敏 王文静 张锡健 
山东省教育厅科技计划(J08LI62)资助项目
用射频溅射法制备了FeZrBNb软磁合金薄膜,研究了不同退火方式对薄膜磁特性和巨磁阻抗效应的影响。结果表明,退火能改善薄膜的软磁性能,使其矫顽力由0.5kA.m-1降到了0.09kA.m-1,横向和纵向有效磁导率都有所提高。退火也能明显提高薄膜样...
关键词:铁基合金 薄膜 巨磁阻抗效应 掺杂 
退火对ZnO薄膜光学特性的影响被引量:8
《发光学报》2008年第3期451-454,共4页张锡健 王国强 王卿璞 龚小燕 吴小惠 马洪磊 
国家基础科学人才培养基金(J0730318);山东省自然科学基金(Y2005917)资助项目
用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备出ZnO薄膜,通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和光致发光(PL)谱等研究了退火温度对ZnO薄膜结构和光学性质的影响。测量结果显示,所制备的ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,具有沿c轴的择优取向;随着退火温...
关键词:ZNO薄膜 射频磁控溅射 退火 
二氧化锡纳米线的生长机理研究
《功能材料》2007年第A07期2662-2665,共4页宗福建 李立君 崔晓东 马洪磊 马瑾 张锡健 计峰 肖洪地 
使用水平石英管式电炉,以二氧化锡和石墨的混合物为原材料、高纯氮气为载气,在850℃温度下用直接热蒸发法制备二氧化锡纳米线.衬底硅片的直径为10mm,其上覆盖一层5nm厚的金催化剂.原材料放在石英舟中,离原材料30mm的下风口处放置...
关键词:二氧化锡 纳米线 生长机理 
退火温度对低温生长Mg_xZn_(1-x)O薄膜光学性质的影响被引量:1
《物理学报》2006年第1期437-440,共4页张锡健 马洪磊 王卿璞 马瑾 宗福建 肖洪地 计峰 
教育部博士点基金(批准号:20020422056)资助的课题~~
用射频磁控溅射法在80℃衬底温度下制备出MgxZn1-xO(x=0·16)薄膜,用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)和透射谱研究了退火温度对MgxZn1-xO薄膜结构和光学性质的影响.测量结果显示,MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构,并且具有沿c轴的择优取...
关键词:MgxZn1-xO薄膜 射频磁控溅射 退火 
Mg_xZn_(1-x)O薄膜的结构特性研究
《无机材料学报》2006年第1期235-238,共4页张锡健 马洪磊 王卿璞 马瑾 
教育部博士点基金(20020422056)
采用射频磁控溅射法在80℃衬底温度下制备了MgxZn1-xO(x=0.23)薄膜,用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)、喇曼(Raman)光谱和原子力显微镜(AFM)研究了薄膜的结构特性.XRD和HRTEM分析结果表明MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构,...
关键词:MGXZN1-XO 射频磁控溅射 结构特性 
粒状氮化镓微晶的合成及其结构性能的研究
《稀有金属材料与工程》2005年第9期1411-1414,共4页肖洪地 马洪磊 薛成山 胡文容 马瑾 宗福建 张锡健 
国家自然科学基金资助项目(60071006;90201025);高等学校博士学科点专项科研基金(20020422045;20020422056)
在950℃的氮化温度下,通过单氢氧化镓(GaO2H)粉末与流动的NH3反应35min制备出粒状GaN微晶。通过X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)研究发现,GaN粉末是六角纤锌矿结构的粒状微晶,其晶格常数a和c分别为0.3191nm和0.5192nm。X射线光电子能谱(X...
关键词:GaO2H粉末 粒状GaN微晶 氮化温度 
真空退火对溅射淀积ZnO:Ga透明导电膜性能的影响被引量:7
《稀有金属材料与工程》2005年第7期1166-1168,共3页马瑾 余旭浒 计峰 王玉恒 张锡健 程传福 马洪磊 
教育部科学技术研究重点项目(02165);博士点基金资助项目(20020422056)
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上低温制备出了镓掺杂氧化锌(ZnO:Ga)透明导电膜,研究了真空退火对薄膜结构、电学和光学特性的影响。结果表明:真空退火后,薄膜结构得到明显改善,电阻率由退火前的1.13×10-3?·cm下降到5.4×10-4?·cm,在...
关键词:磁控溅射 ZNO:GA 真空退火 
SnO_2:Sb薄膜的制备和光致发光性质被引量:4
《Journal of Semiconductors》2005年第5期922-926,共5页王玉恒 马瑾 计峰 余旭浒 张锡健 马洪磊 
国家自然科学基金(批准号:90401004);教育部科学技术研究(批准号:02165)资助项目~~
用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出SnO2∶Sb薄膜.制备样品为多晶薄膜,具有纯氧化锡的四方金红石结构和(110)择优取向,Sb离子以替位式掺杂的形式存在于SnO2 晶格中.室温条件下对样品进行光致发光测量,在392nm附近观测到强的紫外紫光发...
关键词:SnO2:Sb薄膜 射频磁控溅射 光致发光 
射频磁控溅射法生长Mg_xZn_(1-x)O薄膜的结构和光学特性被引量:1
《物理学报》2005年第9期4309-4312,共4页张锡健 马洪磊 王卿璞 马瑾 宗福建 肖洪地 计峰 
教育部博士点基金(批准号:20020422056)资助的课题.~~
用射频磁控溅射法在80℃的衬底温度下制备出MgxZn1-xO(0≤x≤0.30)薄膜.x射线衍射(XRD)结果表明,MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构,没有形成任何显著的MgO分离相,MgxZn1-xO薄膜的择优取向平行于与衬底垂直的c轴;c轴晶格常数随着Mg含...
关键词:MgxZn1-xO薄膜 射频磁控溅射 Mg含量 纤锌矿结构 薄膜 光学特性 生长 衬底温度 光透射谱 X射线衍射 择优取向 
溅射功率和淀积时间对Mg_xZn_(1-x)O薄膜结构特性的影响
《山东大学学报(理学版)》2005年第3期49-52,共4页张锡健 马洪磊 王卿璞 马瑾 宗福建 肖洪地 计峰 
教育部博士点基金资助项目(20020422056)
用射频磁控溅射法在硅衬底上制备出MgxZn1xO薄膜,研究了溅射功率和淀积时间对薄膜结构特性的影响.X射线衍射(XRD)谱和原子力显微镜(AFM)图像表明:MgxZn1xO薄膜为六角纤锌矿结构,且具有非常好的沿垂直于衬底的c轴的择优取向.随着溅射功...
关键词:MgxZn1-x O薄膜 射频磁控溅射 XRD AFM 
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