许志豪

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金属有机物化学气相沉积生长的a(110)面GaN三角坑缺陷的消除研究
《物理学报》2009年第8期5705-5708,共4页许晟瑞 张进城 李志明 周小伟 许志豪 赵广才 朱庆伟 张金凤 毛维 郝跃 
国家自然科学基金重点项目(批准号:60736033);国家科技重大专项(批准号:2008ZX01002)资助的课题~~
用金属有机物化学气相沉积方法在r面蓝宝石上生长了非极性a面GaN薄膜,通过采用AlGaN多量子阱插入层,得到了高质量的非极性GaN材料.用原子力显微镜和高分辨X射线衍射仪研究了a面GaN的表面形貌和结晶质量,发现非极性材料上典型的三角坑缺...
关键词:GAN 原子力显微镜 高分辨X射线衍射仪 非极性 
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