赵良仲

作品数：55被引量：143H指数：5
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供职机构：中国科学院化学研究所更多>>
发文主题：XPS超导体X射线光电子能谱XPS研究氧化物更多>>
发文领域：理学一般工业技术电气工程机械工程更多>>
发文期刊：《解剖学报》《分析化学》《应用化学》《无机材料学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金质检公益性行业科研专项项目国家重点实验室开放基金中国科学院科学基金更多>>
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硅片表面超薄氧化硅层厚度测量关键比对CCQM—K32
《计量学报》2013年第6期617-622,共6页王海 刘芬 阚莹 宋小平 赵良仲 邱丽美 
国家科技基础条件平台建设项目（2005DKAl0800/2005DKAl0806）;质检公益性行业科研专项项目（10-199）
利用X射线光电子能谱技术，建立了硅片表面超薄氧化硅层厚度（小于10nm）准确测量方法。中国计量科学研究院参加了国际关键比对CCQM—K32，根据公布的国际关键比对结果，中国计量科学研究院的测量结果与参比的各国国家计量研究院的测量...
关键词：计量学 厚度测量 栅氧化层 SIO2 Si 表面化学分析 X射线光电子能谱 关键比对 
BiI_3-nylon11纳米复合材料的XPS及ATR-IR分析被引量：1
《分析测试技术与仪器》2011年第1期42-46,共5页赵志娟 刘芬 赵良仲 
用X射线光电子能谱法(XPS)测定了BiI3与nylon11作用生成纳米复合材料后聚合物中酰胺基团的N、O内层能级电子结合能变化,同时用衰减全反射红外光谱法(ATR-IR)研究了BiI3-nylon11复合材料中BiI3对尼龙酰胺基团之间氢键作用的影响.结果表明...
关键词：纳米复合材料 X射线光电子能谱 衰减全反射红外光谱 
硅晶片上超薄氧化硅层厚度纳米尺寸效应的XPS研究被引量：3
《物理化学学报》2010年第11期3030-3034,共5页赵志娟 刘芬 赵良仲 
质检公益性行业科研专项项目(200710199)~~
用X射线光电子能谱(XPS)测定了一系列厚度经过国际比对准确已知的硅晶片上的超薄(1.45nm
关键词：硅晶片 SIO2膜 纳米厚度 尺寸效应 X射线光电子能谱 电子结合能 价带谱 原子外弛豫 
硅片上超薄氧化硅层厚度测量的XPS标准曲线法被引量：1
《光谱学与光谱分析》2010年第6期1670-1673,共4页赵志娟 刘芬 王海 赵良仲 闫寿科 宋小平 
质检公益专项科研基金项目(10-199);国家杰出青年科学基金项目(20425414)资助
提出一种新的处理方法-XPS标准曲线法来测量硅片上超薄氧化硅层(SiO2/Si)的厚度。该方法利用一系列氧化硅厚度(d)准确已知的SiO2/Si标准样品,分别记录其氧化硅和元素硅的Si(2p)谱线,并得到峰高比(R),然后将厚度(d)对峰高比(R)作图得到...
关键词：X射线光电子能谱(XPS) 氧化硅 厚度测量 标准曲线 
XPS光电子峰和俄歇电子峰峰位表被引量：56
《分析测试技术与仪器》2009年第1期1-17,共17页刘芬 赵志娟 邱丽美 赵良仲 
在长期从事XPS分析测试的经验基础上,搜集了有关文献中的大量数据,编制了XPS光电子峰和俄歇电子峰峰位表,用于正确识别各种样品XPS谱图中的电子峰,达到快速、正确分析各种样品元素组成和化学组成的目的.本峰位表对于从事XPS测试的分析...
关键词：X射线光电子能谱 元素组成分析 化学态分析 
纳米粒子尺寸效应引起的内层电子结合能位移被引量：6
《物理化学学报》2008年第9期1685-1688,共4页赵志娟 刘芬 邱丽美 赵良仲 闫寿科 
用XPS测定了氩离子溅射前后的Pt-PVP纳米粒子和TiO2、ZnO及SiO2纳米粒子的内层电子结合能,并与其对应的体材料进行了比较.结果表明,Ar+溅射前Pt-PVP的Pt4f结合能比体材料Pt的稍低,但Ar+溅射后由于PVP包覆层被除去,裸露的Pt纳米粒子的结...
关键词：纳米粒子 尺寸效应 XPS 电子结合能 原子外弛豫 
大气颗粒沉积物的X射线光电子能谱分析被引量：3
《Journal of Environmental Science and Engineering》2008年第4期1-4,共4页刘芬 赵志娟 赵良仲 
用X射线光电子能谱（XPS）分析了沉积在北京中关村地区不同物体表面的大气颗粒物。结果表明颗粒物表面的主要元素成份为S、N、C、O、Si、Al、Ca和Cl，其中含N和含S化合物为主要污染物。硫主要以硫酸盐或吸附的高价硫氧化物存在，氮则有...
关键词：大气污染化学 大气颗粒物 氮氧化合物 硫氧化合物 X射线光电子能谱 
XPS分析固体粉末时的样品制备法研究被引量：11
《分析测试技术与仪器》2007年第2期107-109,共3页刘芬 赵志娟 邱丽美 赵良仲 
用XPS分析固体粉末样品时通常将粉末直接撒在双面胶带上进行测试.这种方法粉末容易脱落,并导致仪器污染或损坏.本文介绍一种将粉末样品铺在胶带上压成薄层进行测试的制样方法.后一种方法不需模具,简单快捷,实验表明它不仅有利于保护仪器...
关键词：X射线光电子能谱 样品制备 固体粉末 
样品表面污染对X射线光电子能谱定量分析的影响被引量：12
《理化检验（化学分册）》2007年第3期182-184,共3页邱丽美 刘芬 赵良仲 
用X射线光电子能谱(XPS)研究了表面碳污染物对样品的元素相对定量误差的影响。结果表明,样品表面含有碳污染物能引起光电子动能较低的元素的相对定量分析结果偏低,而且样品中两种元素的光电子动能差越大,相对误差越大。在用元素灵敏因...
关键词：XPS 定量分析 表面污染 
创新设计的K-Alpha电子能谱仪被引量：3
《现代仪器》2007年第1期53-56,共4页刘洁 刘芬 赵良仲 
本文简单介绍新型高性能、一体化结构的K-Alpha型X射线光电子能谱(XPS)仪的主要特点,包括:全自动样品分析能力,先进的样品导航系统和摄像系统,独特的样品照明方式,用专利技术设计的样品荷电自动补偿装置,方便的谱仪自动校准功能,快速的...
关键词：X射线光电子能谱 表面分析 荷电补偿 深度剖析 样品导航 
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