刘洪祥

作品数：2被引量：1H指数：1
导出分析报告
供职机构：华中理工大学物理系更多>>
发文主题：磁镜场射频等离子体辉光放电SNOPECVD更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《物理学报》《功能材料》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
弱磁场对SnO_2薄膜性能的影响
《功能材料》2001年第4期362-364,共3页刘洪祥 魏合林 刘艳红 刘祖黎 
国家自然科学基金资助项目 (1 97750 1 6)
利用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)技术制备了SnO2 薄膜。实验中通过改变磁镜场的磁镜比和磁场大小 ,研究了弱磁场对SnO2 薄膜方块电阻及电阻分布的影响。实验结果表明 ,随着磁镜比和磁场强度的增加 ,SnO2 薄膜的方块电阻在降低 ,...
关键词：PECVD 薄膜 磁镜场 电阻 二氧化锡 
磁镜场对射频等离子体中离子能量分布的影响被引量：1
《物理学报》2000年第9期1764-1768,共5页刘洪祥 魏合林 刘祖黎 刘艳红 王均震 
国家自然科学基金!(批准号 :19775 0 16)&&
运用阻碍栅极型能量分析器 ,在不同磁镜场参数下测量了低温等离子体中离子的能量分布 .结果表明 ,在放电管中心处离子能量分布 ,随磁镜场强度的增加而向低能方向偏移 ,但离子能量分布宽度却没有明显的变化 ;而随着磁镜比的增加离子能量...
关键词：磁镜场 辉光放电 离子能量分布 射频等离子体 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部