王均震

作品数：2被引量：35H指数：1
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供职机构：华中理工大学物理系更多>>
发文主题：磁镜场射频等离子体薄膜生长辉光放电均匀电场更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
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磁镜场对射频等离子体中离子能量分布的影响被引量：1
《物理学报》2000年第9期1764-1768,共5页刘洪祥 魏合林 刘祖黎 刘艳红 王均震 
国家自然科学基金!(批准号 :19775 0 16)&&
运用阻碍栅极型能量分析器 ,在不同磁镜场参数下测量了低温等离子体中离子的能量分布 .结果表明 ,在放电管中心处离子能量分布 ,随磁镜场强度的增加而向低能方向偏移 ,但离子能量分布宽度却没有明显的变化 ;而随着磁镜比的增加离子能量...
关键词：磁镜场 辉光放电 离子能量分布 射频等离子体 
薄膜生长的随机模型被引量：34
《物理学报》1999年第7期1302-1308,共7页刘祖黎 魏合林 王汉文 王均震 
国家自然科学基金
利用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ模型研究了薄膜生长初始阶段岛的形貌与基底温度之间的关系，同时还研究了它们与汽相粒子入射剩余能量之间的关系．模型中考虑了三种动力学过程：粒子入射、吸附粒子扩散和粒子脱附，与以前薄膜生长模型的不同...
关键词：薄膜生长 随机模型 蒙特卡洛模型 
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