孙凤鸣

作品数：7被引量：29H指数：3
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供职机构：天津大学更多>>
发文主题：硅表面微加工测头激光技术微结构更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》《传感技术学报》《电子技术应用》《中国激光》更多>>
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基于MEMS的微位移传感器及其应用研究被引量：9
《传感技术学报》2013年第2期293-296,共4页孙凤鸣 傅星 朱振宇 高赛 张超 
对一种基于MEMS技术的探针进行开发,以实现微纳米尺度下的几何量测量。该探针是静电梳齿型结构,含有定齿和连接有主梁的动齿。主梁顶端的探针能够感知样品表面形貌而引起梳齿间位移,梳齿间位移能够带来梳齿间电容的变化。设计了测头的...
关键词：MEMS位移传感器 静电梳齿结构 微扫描探针测头 SPM应用 
基于锁相放大技术的激光超声信号处理电路的设计被引量：2
《传感器与微系统》2012年第3期109-112,共4页金宝印 Dante Dorantes 白茂森 孙凤鸣 李艳宁 陈治 胡小唐 
利用激光声表面波(SAW)技术对膜材料机械特性的测量(如杨氏模量、密度、厚度等)已得到了越来越广泛的应用。但激光激发激光检测声表面波(LG/LD-SAW)的频谱带宽较宽(达几百兆到GHz),一般的检测方法难以在如此高的带宽下对其进行检测。设...
关键词：激光声表面波 锁相放大 微弱信号 
355nm纳秒脉冲激光在硅表面照射形成微结构及其荧光检测被引量：13
《中国激光》2010年第8期2139-2142,共4页刘春阳 孙立东 傅星 孙凤鸣 胡春光 Peter Zeppenfeld 胡小唐 
中国-奥地利国际合作项目(WTZ-CN31/2007-2009)资助课题
利用自主研发设计的波长为355 nm的纳秒脉冲激光微加工系统,在硅（100）表面进行照射加工,形成了线槽宽度约25μm的微结构。利用荧光显微检测和光谱检测等观测手段,对形成的线槽结构进行观测分析,发现加工过的区域可以发生强烈的光致发...
关键词：激光技术 纳秒脉冲激光 微加工 荧光检测 硅(100) 
纳秒脉冲激光照射对多壁碳纳米管薄膜形貌的影响
《纳米技术与精密工程》2010年第4期307-312,共6页孙凤鸣 步伟艳 王慧 薛涛 姚琲 傅星 崔屾 
天津市科技发展计划资助项目(043185811);天津市基础研究计划重点基金资助项目(05YFJZJC00200)
采用化学气相沉积法(chemical vapor deposition,CVD)自制的碳纳米管阵列为原料,经过研磨、灼烧纯化得到分散的多壁碳纳米管(multi-walled carbon nanotubes,MWCNTs).采用纳秒脉冲激光(波长355 nm),分别在不同条件下对丝网印刷法制备的M...
关键词：纳秒脉冲激光 照射 多壁碳纳米管(multi-walled carbon NANOTUBE MWCNT)薄膜 扫描电子显微镜(scan-ningelectron MICROSCOPE SEM) 形貌 
应用于短脉冲激光加工的自动调焦系统被引量：4
《传感器与微系统》2010年第5期105-108,共4页邬泳 傅星 周志远 刘春阳 孙凤鸣 胡小唐 
天津市重大科技攻关计划资助项目(043185811)
针对现有的纳秒脉冲激光微加工系统,设计了基于图像处理的自动调焦系统。从焦点检测的历史背景出发,结合光学的成像原理,提出了以图像梯度为对焦评价函数的自动调焦技术。把此自动调焦系统应用于原系统中,形成了以控制单元、激光器、机...
关键词：自动调焦 激光加工 图像梯度 图像处理 
纳秒激光在硅表面微结构加工及其荧光效应
《激光杂志》2010年第1期10-11,共2页邬泳 夏一 傅星 孙立东 刘春阳 孙凤鸣 Peter Zeppenfeld 胡小唐 
本文自主研发设计了一套基于纳秒脉冲激光的加工系统,包括了控制单元、上位机图形软件、机械结构和光路系统。利用此系统,在单晶硅表面进行了微结构图形的加工实验,得到了较好的加工效果。借助卤素灯照明的显微镜和荧光显微镜对结果进...
关键词：纳秒脉冲激光 微加工 荧光效应 硅材料 
激光微加工系统及其控制单元的研究被引量：1
《电子技术应用》2009年第11期30-32,共3页邬泳 傅星 刘春阳 孙凤鸣 胡小唐 
针对纳秒脉冲激光微加工系统的发展,提出了一种集成图形文件解析和高速运动控制的加工系统,包括控制单元、激光器、机械结构和光路系统。在介绍了各个部分的功能之后,重点分析了控制单元,包括上位机图形解析平台及以DSP和FPGA为核心的...
关键词：控制系统 DSP FPGA 图形解析 微加工系统 
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