张冬青

作品数：10被引量：34H指数：4
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：光刻机投影物镜成像质量像差光学测量更多>>
发文领域：电子电信医药卫生更多>>
发文期刊：《光学学报》《激光与光电子学进展》《光子学报》《中国激光》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划更多>>
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光刻机硅片表面不平度原位检测技术被引量：4
《光子学报》2006年第12期1975-1979,共5页张冬青 王向朝 施伟杰 
国家863计划(2002AA4Z3000)资助
随着光刻特征尺寸的不断减小,硅片表面不平度对光刻性能的影响越来越显著·该文提出了一种新的硅片表面不平度的原位检测技术本文在分析特殊测试标记成像规律的基础上,讨论了测试标记的对准位置偏移量与硅片表面起伏高度的变化规律,提...
关键词：硅片表面不平度 FOCAL技术 光刻机 原位检测 
基于人工神经网络权值优化的投影光刻机像质校正灵敏矩阵的计算方法被引量：2
《中国激光》2006年第4期516-520,共5页施伟杰 王向朝 张冬青 王帆 
像质校正灵敏矩阵是像质校正算法中由像质参数计算像质校正参数的过渡矩阵。矩阵中的元素表征了像质参数随像质校正参数变化的灵敏程度。像质校正灵敏矩阵是投影光刻机像质校正算法中重要的参数集合。提出了一种投影光刻机像质校正灵敏...
关键词：测量 人工神经网络 像质校正灵敏矩阵 投影光刻机 
光刻机投影物镜的像差原位检测新技术被引量：5
《光学学报》2006年第5期679-684,共6页张冬青 王向朝 施伟杰 王帆 
提出了一种新的光刻机投影物镜像差原位检测(AMF)技术。详细分析了该技术利用特殊测试标记检测投影物镜球差、像散、彗差的基本原理,论述了该技术利用对准位置坐标计算像差引起的成像位置偏移量的方法。实验结果表明AMF技术可实现球差...
关键词：信息光学 像差 投影物镜 光刻机 原位检测 
基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术被引量：1
《中国激光》2006年第1期85-90,共6页施伟杰 王向朝 张冬青 王帆 
提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深(DOF)的新技术。该技术将具有精细结构的测量标记曝光在硅片上,硅片显影后,由光学对准系统获取曝光在硅片上的测量标记图形的对准位置信息,根据对准位置信息计算得到视场中各点的焦深。与传统的...
关键词：激光技术 焦深 光学对准 投影光刻机 原位检测 
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