张锦川

作品数：6被引量：4H指数：1
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供职机构：河北大学更多>>
发文主题：ZNO薄膜氧分压ZNO薄膜结构螺旋波等离子体ZNO更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《稀有金属》《人工晶体学报》《河北大学学报（自然科学版）》更多>>
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氮化温度对ZnO薄膜结构特性的影响
《河北大学学报（自然科学版）》2009年第2期150-152,共3页张丽 于威 许贺菊 张锦川 傅广生 
河北省自然科学基金资助项目(E2006001006)
采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术,在蓝宝石（001）衬底上制备不同氮化温度的ZnO薄膜.结果表明,在200~600℃内,不同的氮化温度对薄膜的表面形貌和晶格结构有显著影响.
关键词：ZNO薄膜 氮化温度 晶格结构 
ZnO:Mn稀磁薄膜结构和铁磁特性分析被引量：3
《人工晶体学报》2009年第3期685-688,共4页于威 张丽 张子才 杨丽华 滕晓云 张锦川 傅广生 
河北省自然科学基金(No.E2006001006)
采用脉冲激光沉积技术在蓝宝石衬底上制备了不同Mn掺杂浓度的ZnO薄膜(ZnO∶Mn),研究了与生长相关的浅缺陷能级对薄膜磁性的作用。结果表明:所制备的ZnO∶Mn薄膜均具有高度c轴择优取向,且具有室温铁磁性。随Mn含量增加,薄膜结晶质量逐渐...
关键词：ZnO∶Mn薄膜 室温铁磁性 结构缺陷 
ZnO∶Mn稀磁薄膜光学性质和铁磁行为分析
《真空科学与技术学报》2008年第S1期22-25,共4页于威 杨丽华 滕晓云 张锦川 张子才 傅广生 
河北省自然科学基金(No.E2006001006)
采用脉冲激光沉积技术在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上制备了不同Mn掺杂浓度的ZnO薄膜。实验结果表明,合适浓度的Mn的掺入,有利于ZnO∶Mn薄膜(002)生长而不形成Mn的氧化物,同时,所有的薄膜均呈现出了室温铁磁特性。随着Mn含量的增加,薄膜光学...
关键词：Mn掺杂ZnO sp-d交换 铁磁特性 
自然掺杂p型ZnO薄膜的螺旋波等离子体辅助溅射沉积
《人工晶体学报》2008年第1期151-155,共5页于威 张锦川 许贺菊 张丽 杨丽华 傅广生 
河北省自然科学基金(No.E2006001006)
本工作通过调整工作气压,采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术在A l2O3衬底上成功的制备了自然掺杂的p型ZnO薄膜。Hall测量显示在Ar/O2等离子体辅助下,随气压增加所沉积薄膜表现出从n型到p型再到n型的转变。p型ZnO薄膜载流子浓度为1...
关键词：p-ZnO 螺旋波等离子体 自然掺杂 应力 
氧分压对ZnO薄膜结构、光学和电学特性的影响
《稀有金属》2007年第S2期25-28,共4页于威 许贺菊 张丽 滕晓云 张锦川 傅广生 
河北省自然科学基金(E2006001006)
采用螺旋波等离子体辅助射频溅射技术在Al2O3衬底的(0001)面上制备了ZnO薄膜。通过对其结构,光学及电学性质的分析,探讨了氧分压对薄膜生长及其特性的影响。结果表明,由于等离子体对反应气体的活化及载能粒子对表面反应的辅助作用,采用...
关键词：ZNO薄膜 螺旋波等离子体 氧分压 
氧分压对Zno薄膜结构、光学和电学特性的影响被引量：1
《稀有金属》2007年第z1期25-28,共4页于威 许贺菊 张丽 滕晓云 张锦川 傅广生 
河北省自然科学基金(E2006001006)
采用螺旋波等离子体辅助射频溅射技术在Al203衬底的(0001)面上制备了ZnO薄膜.通过对其结构,光学及电学性质的分析,探讨了氧分压对薄膜生长及其特性的影响.结果表明,由于等离子体对反应气体的活化及载能粒子对表面反应的辅助作用,采用该...
关键词：ZNO薄膜 螺旋波等离子体 氧分压 
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