祁鑫

作品数：3被引量：15H指数：1
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供职机构：清华大学更多>>
发文主题：测试技术改进遗传算法飞行高度超精测量方法更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《仪器仪表学报》《压电与声光》《电子测量与仪器学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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深亚微米飞行高度测试技术及实验研究
《仪器仪表学报》2015年第S01期256-260,共5页李玉和 管恺森 乔振东 伍震环 祁鑫 
国家自然科学基金(51275259,61362035);国家重大仪器专项(2011YQ030134)资助
近场存储技术中飞行头与存储介质间飞行高度测试成为高密度存储关键技术.本文采用双波长多步法对测试进行数学建模,利用改进遗传算法实现高非线性光学方程组求解;搭建飞行高度测试实验系统,对“起飞”、“着陆”飞行过程进行测试实验与...
关键词：飞行高度 微纳尺度 非线性光学方程组 改进遗传算法 
压电驱动器迟滞建模与开环控制实验研究被引量：1
《压电与声光》2010年第6期999-1001,共3页胡小根 李玉和 林浩山 童晓蕾 祁鑫 
国家自然科学基金资助项目(50705051)
压电位移扫描技术可实现纳米级位移分辨率,但其迟滞现象会降低系统测量精度。该文依据大量实验现象中压电驱动器迟滞存在点对称性特征,建立了一种压电驱动器迟滞的数学模型。本模型由实验数据拟合上升主回线,再根据压电驱动器的点对称性...
关键词：压电驱动器 迟滞 开环控制 
超精表面三维形貌相移干涉检测实验研究被引量：14
《电子测量与仪器学报》2009年第12期65-69,共5页童晓蕾 李玉和 林浩山 祁鑫 
国家自然科学基金(编号:50705051)资助项目
超精表面检测技术已成为超精密测量技术重要组成部分。本文提出了一种超精表面三维形貌的相移干涉显微检测方法。检测系统引入偏振分光棱镜,建立相移检偏干涉与三维形貌重构模型,采用四帧相移与轮廓中线法进行相位与粗糙度参数计算。编...
关键词：相移干涉 粗糙度 三维形貌 超精表面 
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