林浩山

作品数:6被引量:18H指数:2
导出分析报告
供职机构:广西师范大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题:外差干涉光学测量粗糙度相移干涉相移更多>>
发文领域:机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
发文期刊:《新技术新工艺》《压电与声光》《激光与光电子学进展》《电子测量与仪器学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
-

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
条 记 录,以下是1-6
视图:
排序:
超精表面缺陷检测的光学混频误差分析被引量:3
《激光与光电子学进展》2015年第2期159-165,共7页林浩山 陈举科 李玉和 李庆祥 潘福东 王力虎 
国家自然科学基金(61362035;51275259)
双频激光外差干涉法与扫描探针相结合的超精表面缺陷检测系统具有很高的分辨率。但系统光源和光学器件的各种误差因素会产生非线性混频误差,影响系统精确测量。利用琼斯矩阵分析了同时存在激光光源椭圆偏振化和方位角误差以及光学器件...
关键词:测量 外差干涉 偏振光 琼斯矩阵 频率混叠 非线性误差 
压电驱动器迟滞建模与开环控制实验研究被引量:1
《压电与声光》2010年第6期999-1001,共3页胡小根 李玉和 林浩山 童晓蕾 祁鑫 
国家自然科学基金资助项目(50705051)
压电位移扫描技术可实现纳米级位移分辨率,但其迟滞现象会降低系统测量精度。该文依据大量实验现象中压电驱动器迟滞存在点对称性特征,建立了一种压电驱动器迟滞的数学模型。本模型由实验数据拟合上升主回线,再根据压电驱动器的点对称性...
关键词:压电驱动器 迟滞 开环控制 
微探针纳米尺度振动测试的实验研究
《光学技术》2010年第2期168-171,共4页林浩山 李玉和 王东生 李庆祥 刘梅 
国家自然科学基金(50705051)资助项目
微探针是扫描探针显微镜(SPM)的重要组成部件,其共振频率等振动特性直接影响系统的性能。给出了系统微探针共振频率的测试方法,对微探针在压电陶瓷驱动力作用下的受迫振动进行了有限元分析。提出了相位变化0.1°所对应的0.1nm位移分辨...
关键词:光学测量 微探针 纳米尺度振动 外差干涉 共振频率 
超精表面三维形貌相移干涉检测实验研究被引量:14
《电子测量与仪器学报》2009年第12期65-69,共5页童晓蕾 李玉和 林浩山 祁鑫 
国家自然科学基金(编号:50705051)资助项目
超精表面检测技术已成为超精密测量技术重要组成部分。本文提出了一种超精表面三维形貌的相移干涉显微检测方法。检测系统引入偏振分光棱镜,建立相移检偏干涉与三维形貌重构模型,采用四帧相移与轮廓中线法进行相位与粗糙度参数计算。编...
关键词:相移干涉 粗糙度 三维形貌 超精表面 
基于BP神经网络的二维精密扫描台控制技术及试验研究
《新技术新工艺》2008年第11期64-66,共3页刘梅 李玉和 郑静琳 林浩山 
973国家重大基础研究项目(2003CB716201)
扫描控制系统是纳米测量系统的重要组成部分,其性能影响整个系统的测量精度。本文介绍了二维精密扫描台的设计——柔性铰链与压电控制结合的方式,综述了BP神经网络的概念,并通过BP神经网络建模,设计了扫描台的控制方法,最后介绍了试验设...
关键词:压电陶瓷 BP网络 神经元 隐层 
用于超精表面损伤检测的微探针系统设计与测试
《新技术新工艺》2007年第6期33-34,共2页林浩山 李玉和 王东生 
973国家重大基础研究项目(2003CB716201)
电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面微观形貌轮廓纳米尺度微裂纹损伤检测要求越来越高。设计灵敏度高、重现性好、响应快速的微探针系统是实现纳米尺度分辨率、大视场损伤检测的关键部件之一。文中对设计的微探针系统受力阻...
关键词:光学测量 微探针 共振频率 
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部