郑浩

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
发文主题：单晶薄膜衬底温度衬底超高真空氧化锌薄膜更多>>
发文领域：电子电信理学电气工程更多>>
发文期刊：《Journal of Semiconductors》《电子显微学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学院知识创新工程重要方向项目教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
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n-ZnO/p-GaN异质结界面工程被引量：4
《电子显微学报》2005年第4期340-341,共2页曾兆权 杜小龙 刘玉资 英敏菊 梅增霞 郑浩 袁洪涛 郭丽伟 贾金锋 薛其坤 张泽 
国家重点基础研究发展规划项目(No.2002CB613500);国家自然科学基金资助项目.
关键词：ZNO GaN 发光二极管(LED) 界面工程 异质结 半导体材料 激光二极管 晶体结构 晶格常数 
LSAT(111)衬底上ZnO单晶薄膜的分子束外延生长
《Journal of Semiconductors》2005年第z1期82-86,共5页英敏菊 杜小龙 刘玉资 曾兆权 梅增霞 郑浩 袁洪涛 贾金锋 薛其坤 张泽 
国家自然科学基金(批准号:60476044,60376004),科技部基金(批准号:2002CB613502),教育部留学回国人员科研基金资助项目
利用射频等离子体辅助分子束外延技术,在LSAT(111)衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜.研究了衬底表面预处理及生长温度对ZnO外延膜的生长过程、外延取向关系以及表面形貌的影响.发现在较低温度下生长ZnO时,薄膜中容易形成30°旋转畴,而在较...
关键词：ZnO单晶薄膜 RF-MBE LSAT(111) 旋转畴 外延取向 
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