王凤生

作品数:1被引量:4H指数:1
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供职机构:航天工业总公司七七一研究所更多>>
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不同状态的Si-Al丝对键合点根部损伤的影响被引量:4
《电子元件与材料》2001年第6期1-2,5,共3页李自学 王凤生 张承军 
键合点根部损伤是Al丝超声键合工艺中最常见的问题,严重的根部损伤不仅使焊点的键合强度降低,甚至会使键合点失效。通过优化键合机器的工艺参数、分析键合丝的组分和采取不同的退火条件,研究Al丝超声键合中,键合点根部损伤的程度,为键...
关键词:薄膜混合集成电路 超声键合 根部损伤 硅铝丝 焊点 
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