王超

作品数:6被引量:46H指数:3
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供职机构:浙江大学材料科学与工程学系硅材料国家重点实验室更多>>
发文主题:溶胶-凝胶法制备光致发光P型透明导电膜旋涂更多>>
发文领域:理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊:《真空科学与技术学报》《Journal of Semiconductors》《半导体光电》《无机材料学报》更多>>
所获基金:国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金浙江省分析测试基金国家高技术研究发展计划更多>>
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掺Mn硅酸锌薄膜中微量氧化锌对发光强度的影响被引量:1
《无机材料学报》2006年第6期1506-1510,共5页席俊华 季振国 刘坤 王超 杜鹃 
国家自然科学基金(60576062);教育部博士点基金(20050335036)
利用溶胶-凝胶法结合高温热处理在硅衬底上制备了掺Mn硅酸锌薄膜,用XRD、SEM、UV-Vis吸收谱和PL谱测试了样品的结晶性能与光学性能,并分析了热处理温度对掺Mn硅酸锌薄膜的结晶性能和光学性能的影响.实验结果发现,ZnO的适量存在对掺Mn...
关键词:硅酸锌 氧化锌 光致发光 量子约束-发光中心 
Cu/Al比对p型透明导电铜铝氧薄膜性能的影响被引量:2
《半导体光电》2005年第6期515-518,共4页周强 季振国 赵丽娜 陈琛 王超 
国家基础研究发展规划专项资助项目(973)(G20000683)
采用将反应物沉淀后涂层及高温固相反应,在石英玻璃衬底上沉积了Cu/Al原子比不同的P型透明导电铜铝氧化物。XRD分析结果表明,样品的成分中包含黑铜矿结构的CuO、铜铁矿结构的CuAlO2、尖晶石结构的CuAl2O4和刚玉结构的Al2O3;X光能谱...
关键词:铜铝氧化物 P型导电 透明导电膜 沉淀法 
p型透明导电的锡镓氧化物薄膜的制备及其表征被引量:1
《真空科学与技术学报》2005年第2期93-95,99,共4页季振国 陈琛 王超 周强 赵丽娜 
国家重点基础研究专项(G2000068306);国家高技术研究发展计划(2003AA3A19/1);浙江省分析测试基金(03103)资助项目
本文通过磁控溅射锡镓合金靶(Ga/Sn=0.2)及热氧化的方法,成功地制备了p型透明导电的锡镓氧化物(TGO)薄膜。X射线衍射(XRD)测试结果表明,TGO薄膜保持SnO2的金红石结构。吸收谱测试表明TGO薄膜在可见光范围内透过率可达到85%以上,其光学...
关键词:透明导电 氧化物薄膜 P型 制备 表征   光学禁带宽度 空穴浓度 X射线衍射 金红石结构 热处理温度 磁控溅射 SnO2 霍尔效应 温度过高 氧化温度 热氧化 合金靶 测试 透过率 可见光 吸收谱 子类型 
溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及表征被引量:25
《Journal of Semiconductors》2004年第1期52-55,共4页季振国 宋永梁 杨成兴 刘坤 王超 叶志镇 
国家重点基础研究发展规划 ( No.G2 0 0 0 0 683 )资助项目~~
采用溶胶 -凝胶法在石英玻璃衬底上使用旋转涂覆技术生长了 Zn O薄膜 .对薄膜的 XRD分析表明 Zn O薄膜为纤锌矿结构并沿 c轴取向生长 .透射光谱表明薄膜的禁带宽度为 3.2 8e V ,与 Zn O体材料的禁带宽度 3.30 e V基本相同 .用光致发光...
关键词:Zn0薄膜 光致发光 溶胶-凝胶法 旋涂 
热处理参数对溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜特性的影响被引量:15
《物理学报》2004年第2期636-639,共4页宋永梁 季振国 刘坤 王超 向因 叶志镇 
国家重点基础研究专项 (No .G2 0 0 0 0 683 0 6);国家自然科学基金重大项目 (批准号 :90 2 0 10 3 8)资助的课题~~
采用溶胶 凝胶旋涂法在Si(111)衬底上生长了ZnO薄膜 ,并用荧光光谱、原子力显微镜和XRD对ZnO薄膜样品进行了分析 .结果表明 ,溶胶 凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜为纤锌矿结构 ,其c轴取向程度与热处理温度有很大的关系 .当热处理温度小于 5 ...
关键词:光致发光 氧化锌薄膜 溶胶—凝胶法 荧光光谱 原子力显微镜 纤锌矿结构 c轴取向程度 热处理参数 半导体材料 
ITO/Al_2O_3复合透明导电膜的制备及光电性能被引量:3
《真空科学与技术》2003年第3期173-175,172,共4页季振国 王超 刘坤 
国家基础研究发展规划专项 (973 )资助No G2 0 0 0 0 683
采用磁控溅射技术 ,在预先沉积有金属Al膜的玻璃衬底上制备了ITO薄膜。通过高温热处理 ,获得了透射率高、导电性能好的ITO/Al2 O3 复合透明导电膜。研究了不同Al薄膜厚度下ITO薄膜的晶体结构及其光、电性能 ,结果表明 ,当预沉积Al层厚度...
关键词:ITO AL2O3 复合膜 磁控溅射 
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