赵永江

作品数：2被引量：31H指数：2
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供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
发文主题：应力离子辅助沉积TIO薄膜应力TIO_2薄膜更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《物理学报》《浙江大学学报（工学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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TiO_2和SiO_2薄膜应力的产生机理及实验探索被引量：30
《物理学报》2006年第12期6459-6463,共5页顾培夫 郑臻荣 赵永江 刘旭 
国家自然科学基金(批准号:60478038)资助的课题.~~
对最常用的TiO2和SiO2薄膜应力,包括应力模型、应力测试方法和不同实验条件下的应力测试结果作了研究.基于曲率法模型,对TiO2和SiO2单层膜和多层膜进行了实验测试,得到了一些有价值的结果,特别是离子辅助淀积和基板温度等工艺参数对薄...
关键词：薄膜应力 离子辅助淀积 聚集密度 
离子辅助沉积对TiO_2薄膜应力的影响被引量：4
《浙江大学学报（工学版）》2005年第11期1816-1818,1832,共4页赵永江 黄腾超 沈伟东 顾培夫 刘旭 
国家自然科学基金资助项目(60478301)
对在离子辅助沉积(IAD)和常规工艺条件下镀制的TiO2薄膜的应力进行了试验研究,并探讨了利用台阶仪测量镀膜前后基板表面曲率的方法.结果表明,当基板温度低于100℃时,在离子辅助沉积工艺条件下镀制的TiO2薄膜的应力略大于在常规工艺条件...
关键词：TIO2薄膜 离子辅助沉积 应力 
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