沈勇

作品数：5被引量：7H指数：2
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供职机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院更多>>
发文主题：谐振器薄膜体声波谐振器表面粗糙度SMR压电材料更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
发文期刊：《应用声学》《微纳电子技术》《传感器与微系统》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
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氧化锌系列薄膜体声波谐振器研制与表征被引量：2
《微纳电子技术》2016年第11期726-730,共5页段力 卢学良 史丽云 王英 付学成 王丹凤 汪军 沈勇 翁昊天 张亚非 
国家自然科学基金资助项目(F040801)
研制了一种氧化锌基的固体装配型薄膜体声波谐振器。采用了布拉格反射层为反射基底,以掺镁氧化锌作为压电层,利用MEMS微制造工艺形成了一系列的固体装配型薄膜体声波谐振器。通过优化条件,制备出了具有优良谐振性能的薄膜体声波器件。...
关键词：射频(RF) 薄膜体声波 谐振器 传感器 CMOS集成电路 
基于Mg_xZn_(1-x)O薄膜固体装配型体声波谐振器被引量：1
《应用声学》2016年第3期212-218,共7页汪军 段力 刘一剑 苏言杰 沈勇 卢学良 张亚非 
国家科技项目(2011AA050504)
本文研制了一种基于磁控溅射掺镁氧化锌(Mg_xZn_(1-x)O)压电薄膜的S波段固体装配型体声波谐振器(SMR-FBAR)。相比传统的氧化锌(ZnO)薄膜,Mg_xZn_(1-x)O具有高纵波声速,高电阻率优点,而且Mg原子以替位或填隙的方式进入晶格,没有改变ZnO...
关键词：掺镁氧化锌薄膜 固体装配型 薄膜体声波谐振器 S波段 集成电路 
基于薄膜体声波谐振器的免疫球蛋白传感器制备被引量：1
《传感器与微系统》2015年第8期80-82,共3页杨翰林 陈达 刘一剑 沈勇 张亚非 
国家"973"计划资助项目(2006CB300406)
研制了一种基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的生物免疫球蛋白传感器,该FBAR采用Al N作为压电层,3对Ti/W金属层作为布拉格声学反射层,工作频率为2.047 GHz,回波损耗为-32 d B。利用自组装膜法修饰顶部金电极敏感区域。测试了免疫球蛋白G抗体...
关键词：薄膜体声波谐振器 自组装膜法 生物传感器 
PbS QD-MWCNT异质结材料合成与光学特性
《微纳电子技术》2015年第1期25-30,共6页鲁得泂 李晓琳 胡南涛 沈勇 魏良明 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2011AA050504);U-M/SJTU联合研究资助项目
以氯化铅(PbCl2)和升华硫(S)为前驱体,油胺为溶剂,使用热注入方法制备PbS量子点(QD)/多壁碳纳米管(MWCNT)异质结材料。对PbS QD/MWCNT复合纳米材料进行形貌、结构和元素分析,发现粒径约为14 nm的PbS QD紧密附着在MWCNT表面,而且PbS QD...
关键词：PbS量子点(QD) 多壁碳纳米管(MWCNT) 纳米复合材料 光学特性 光生载流子 
Mg_xZn_(1-x)O压电薄膜表面粗糙度对SMR性能的影响被引量：4
《微纳电子技术》2014年第12期776-779,784,共5页沈勇 刘一剑 杨翰林 段力 张亚非 
国家科技项目(2011AA050504)
固体装配型谐振器(SMR)由布拉格反射层上的两个电极及它们之间的压电层制备而成。布拉格层是厚度为1/4波长的高低声阻层结构。ZnO压电薄膜是用来制备SMR的传统压电材料,但却拥有低的纵向声学速度和相对固定的频率响应。由ZnO和MgO合成...
关键词：磁控溅射 压电材料 表面粗糙度 固体装配型谐振器(SMR)MgxZn1-xO 
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