刘一剑

作品数：9被引量：10H指数：2
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供职机构：山东科技大学更多>>
发文主题：传感器压花水转印纸薄膜体声波谐振器喷涂装置更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程轻工技术与工程更多>>
发文期刊：《上海交通大学学报》《传感器与微系统》《微电子学》《应用声学》更多>>
所获基金：山东省社会科学规划研究项目山东省艺术科学重点课题国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
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“课程思政”视域下高校育人路径的研究被引量：1
《西部素质教育》2021年第17期4-6,共3页田静萍 陈达 陆翔 刘一剑 
山东科技大学2021年研究生“课程思政”示范课程“半导体物理学”建设立项研究课题的阶段性研究成果(编号:YJSKCSZ2021032);山东科技大学2021年度课程思政培育项目“嵌入式系统设计”建设立项研究课题的阶段性研究成果(编号:KCSZ202119);山东省艺术科学重点课题“疫情防控常态化下齐鲁文化融入高校思政课程的研究”的阶段性研究成果(编号:YQ202008005)。
为了培养担当民族复兴大任的时代新人及德智体美劳全面发展的社会主义建设者和接班人,文章从课程育人、文化育人、科研育人、管理育人四个方面对“课程思政”视域下高校育人路径进行了研究。
关键词：高校育人 “课程思政” 中华优秀传统文化 
协同共振型薄膜体声波谐振器研究
《上海交通大学学报》2018年第10期1242-1248,共7页张亚非 刘一剑 李忠丽 张耀中 苏言杰 刘刚 
国家自然科学基金资助项目(61574091)
随着通信行业和微电子技术的快速发展,以及第5代移动通信技术(5G)的发展趋势越来越明晰,对高频段的微型化射频滤波器的性能提出了更高的要求.生产基于体声波谐振器的滤波器成为最具有应用前景的技术.基于大量研究,总结了固体装配型的体...
关键词：固体装配型薄膜体声波谐振器(SMR) 氧化锌薄膜 AlN-ZnO协同共振层 掺杂技术 
掺镁ZnO基薄膜体声波谐振器的制备和性能研究被引量：1
《压电与声光》2017年第1期11-14,18,共5页卢学良 段力 刘一剑 汪军 张亚非 
国家科技基金资助项目(2011AA050504)
固体装配型薄膜体声波谐振器(FBAR)机械强度好,尺寸小,可在硅片上三维立体集成,灵敏度大,在未来的通信设备制作高带通滤波器和物联网传感器中展现出广泛的应用前景。通过射频磁控溅射系统制备了以掺镁ZnO(MgxZn1-xO)作为压电层的固体装...
关键词：掺镁ZnO(MgxZn1-xO) 薄膜体声波谐振器 谐振频率 射频磁控溅射 传感器 
氢化非晶硅薄膜的制备与工艺参数优化被引量：1
《微电子学》2016年第5期706-710,共5页朱永航 刘一剑 黄霞 黄惠良 
国家高技术研究发展(863)计划基金资助项目((BC3400026)
采用间接型射频等离子体增强化学气相沉积方法,通过改变H_2/SiH_4气流量比、工艺功率和工艺压强,制备出了氢化非晶硅薄膜。研究了H_2/SiH_4气流量比、工艺功率以及工艺压强对非晶硅薄膜光学特性的影响。实验结果表明,该方法可以制备出...
关键词：氢化非晶硅薄膜 间接型射频等离子体 微观结构 H含量 H2/SiH4气流量比 工艺功率 工艺压强 
基于Mg_xZn_(1-x)O薄膜固体装配型体声波谐振器被引量：1
《应用声学》2016年第3期212-218,共7页汪军 段力 刘一剑 苏言杰 沈勇 卢学良 张亚非 
国家科技项目(2011AA050504)
本文研制了一种基于磁控溅射掺镁氧化锌(Mg_xZn_(1-x)O)压电薄膜的S波段固体装配型体声波谐振器(SMR-FBAR)。相比传统的氧化锌(ZnO)薄膜,Mg_xZn_(1-x)O具有高纵波声速,高电阻率优点,而且Mg原子以替位或填隙的方式进入晶格,没有改变ZnO...
关键词：掺镁氧化锌薄膜 固体装配型 薄膜体声波谐振器 S波段 集成电路 
基于薄膜体声波谐振器的免疫球蛋白传感器制备被引量：1
《传感器与微系统》2015年第8期80-82,共3页杨翰林 陈达 刘一剑 沈勇 张亚非 
国家"973"计划资助项目(2006CB300406)
研制了一种基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的生物免疫球蛋白传感器,该FBAR采用Al N作为压电层,3对Ti/W金属层作为布拉格声学反射层,工作频率为2.047 GHz,回波损耗为-32 d B。利用自组装膜法修饰顶部金电极敏感区域。测试了免疫球蛋白G抗体...
关键词：薄膜体声波谐振器 自组装膜法 生物传感器 
Mg_xZn_(1-x)O压电薄膜表面粗糙度对SMR性能的影响被引量：4
《微纳电子技术》2014年第12期776-779,784,共5页沈勇 刘一剑 杨翰林 段力 张亚非 
国家科技项目(2011AA050504)
固体装配型谐振器(SMR)由布拉格反射层上的两个电极及它们之间的压电层制备而成。布拉格层是厚度为1/4波长的高低声阻层结构。ZnO压电薄膜是用来制备SMR的传统压电材料,但却拥有低的纵向声学速度和相对固定的频率响应。由ZnO和MgO合成...
关键词：磁控溅射 压电材料 表面粗糙度 固体装配型谐振器(SMR)MgxZn1-xO 
基于层层自组装碳纳米管的应变检测仪被引量：2
《大学物理实验》2012年第3期7-10,共4页张临勋 张鲁殷 王丽丽 刘一剑 
山东省社科规划研究项目(10CZXJ02)
通过对微小应变检测意义的分析,提出了本检测仪在实际应用方面的价值和前景。基于对碳纳米管导电机理的分析、制备薄膜电阻,利用其电阻随形变变化较为灵敏的特性,将电阻的变化转换为电压值的变化,经过数据采集、放大和数字处理设计了应...
关键词：层层自组装 碳纳米管 传感器 
基于碳纳米管的湿度检测仪的研究与实践被引量：2
《大学物理实验》2011年第4期5-8,共4页王丽丽 张鲁殷 丁世勇 刘一剑 
通过对湿度检测的重大意义进行分析,得出了本湿度检测仪的价值和意义,介绍了仪器的设计思路和应用前景,同时介绍了一种特殊的信号采集方法,从而将电阻的变化直接转化为信号的频率变化,再将此高频信号传入单片机,从而实现对信号的数字处...
关键词：湿度检测 碳纳米管 单片机 传感器 
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