黄惠良

作品数:5被引量:6H指数:2
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供职机构:上海交通大学更多>>
发文主题:太阳电池玻璃衬底退火织构H2更多>>
发文领域:电子电信电气工程一般工业技术更多>>
发文期刊:《Journal of Semiconductors》《微电子学》《压电与声光》《太阳能学报》更多>>
所获基金:广东省教育厅自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
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纳米Ag-Cu粉在多晶硅太阳能电池银浆中的应用
《压电与声光》2017年第5期746-749,共4页黄霞 金菘 王堃 范贺贺 黄惠良 
"八六三"计划基金资助项目(BC3400026)
采用稻米中淀粉作为稳定剂,氢氧化钠作为还原剂的方法制备了银铜纳米颗粒。利用扫描电子显微镜在高倍数下观察Ag-Cu纳米颗粒表面形貌;通过透射电镜定性分析了银铜纳米颗粒的空间结构;通过X线光电子能谱分析得到粉末中元素成分及其相对含...
关键词:银铜纳米颗粒 绿色合成 丝网印刷 X线光电子能谱 太阳能电池 
氢化非晶硅薄膜的制备与工艺参数优化被引量:1
《微电子学》2016年第5期706-710,共5页朱永航 刘一剑 黄霞 黄惠良 
国家高技术研究发展(863)计划基金资助项目((BC3400026)
采用间接型射频等离子体增强化学气相沉积方法,通过改变H_2/SiH_4气流量比、工艺功率和工艺压强,制备出了氢化非晶硅薄膜。研究了H_2/SiH_4气流量比、工艺功率以及工艺压强对非晶硅薄膜光学特性的影响。实验结果表明,该方法可以制备出...
关键词:氢化非晶硅薄膜 间接型射频等离子体 微观结构 H含量 H2/SiH4气流量比 工艺功率 工艺压强 
ZnS/CuInS2/Mo/钠钙玻璃衬底上射频溅射ZnO:Al薄膜的SEM研究
《Journal of Semiconductors》2005年第z1期49-51,共3页邵乐喜 刘小平 黄惠良 
广东省自然科学基金(批准号:31927),广东省科技(工业攻关)计划(批准号:2003C105005)和教育部留学回国人员科研启动基金(批准号:[2004]176)资助项目
结合ZnO薄膜在Cu-Ⅲ-Ⅵ2基薄膜太阳电池上的应用,采用射频磁控溅射技术以陶瓷ZnO:Al2O3为靶材在ZnS/CuInS2/Mo/钠钙玻璃衬底上于固定沉积条件下低温(200℃)制备了铝掺杂氧化锌(ZnO:Al)薄膜.运用扫描电子显微镜研究了底层材料特别是ZnS和...
关键词:铝掺杂氧化锌薄膜 射频溅射 扫描电镜 ZnS/CuInS2/Mo/钠钙玻璃衬底 
用于太阳电池吸收层CuInS_2薄膜的RF反应溅射制备及其表征被引量:2
《太阳能学报》2004年第1期123-126,共4页邵乐喜 张昆辉 黄惠良 
该文报道采用射频反应溅射技术,以铜银合金为靶材、H2S为反应气体,在Soda-Lime玻璃衬底上沉积高质量CuInS2薄膜的实验结果。分别运用扫描电镜、能量散射X-射线谱、X-射线衍射谱和表面轮廓仪等对沉积样品的结构形貌和组成成分等特性进行...
关键词:CulnS2薄膜 射频(RF)反应溅射 太阳电池 
铝掺杂氧化锌薄膜在玻璃衬底上的RF反应共溅射低温织构生长被引量:3
《Journal of Semiconductors》2003年第6期606-611,共6页邵乐喜 张昆辉 黄惠良 
广东省教育厅自然科学研究基金 ( No.2 0 0 0 48);台湾国科会专题研究计划 ( No.90 -2 2 15 -E-0 0 7-0 16)资助项目~~
以金属锌 ( Zn)和铝 ( Al)为靶材采用射频 ( RF)反应共溅射技术在低温 ( 2 0 0℃ )玻璃衬底上沉积了铝掺杂氧化锌 ( Zn O∶ Al)薄膜 .运用扫描电子显微镜 ( SEM)、能量色散 X射线谱 ( EDX)、表面轮廓仪 (α- Step)、X射线衍射( XRD)和...
关键词:铝掺杂氧化锌(ZnO:Al)薄膜 射频(RF)反应共溅射 织构 低温沉积 未退火 
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