李雅丹

作品数：2被引量：9H指数：2
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供职机构：吉林大学电子科学与工程学院更多>>
发文主题：磁控溅射氧化铟铪透明导电薄膜中红外更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《光子学报》更多>>
所获基金：吉林省科技发展计划基金国家自然科学基金国家科技支撑计划国家高技术研究发展计划更多>>
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氧化铟掺铪红外透明导电薄膜被引量：6
《光子学报》2020年第9期71-77,共7页田丰 毕然 赵雯媛 韩锋博 李雅丹 郑传涛 王一丁 
国家重点研发计划(No.2016YFD0700101);国家自然科学基金(Nos.61960206004,61775079,61627823);吉林省科技发展计划项目(Nos.20180201046GX,20190101016JH)。
采用射频磁控溅射与退火工艺相结合的方法,分别在石英和硒化锌(ZnSe)衬底上制备了掺铪氧化铟(IHfO)薄膜,掺杂比例In2O3∶HfO2为98wt.%∶2wt.%.测试了薄膜的组成结构和3~5μm红外波段的光电性质,分析了退火温度、薄膜厚度和氧气流速对薄...
关键词：磁控溅射 中红外 透明导电薄膜 氧化铟 掺杂 
Ca掺杂对CuCrO_2薄膜形成和电学特性的影响被引量：3
《光子学报》2014年第12期27-30,共4页胡冰 揣雅惠 付洋 李雅丹 沈宏志 张红 杨悦 王一丁 
国家科技支撑计划(No.2013BAK06B04);国家自然科学基金(No.61077074);科技部863计划(No.2007AA06Z112);吉林省科技发展计划(No.20120707);长春市科技发展计划(No.11GH01)资助
采用溶胶凝胶法制备CuCrCaO2薄膜,研究不同气氛、退火温度下,Ca掺杂量对薄膜的形成和电学特性的影响.在N2环境中1 100℃退火,制得CuCr1-xCaxO2(x=0、0.01、0.03、0.05、0.07)薄膜.测量CuCrCaO2薄膜的X射线衍射,在低浓度Ca掺杂时,薄膜结...
关键词：溶胶-凝胶 掺杂 旋涂 薄膜生长 退火 晶相 分层体系 
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