谭艾英

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：中国科学院重庆绿色智能技术研究院更多>>
发文主题：曝光机LED光照光斑基板更多>>
发文领域：电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《红外与激光工程》《激光与光电子学进展》更多>>
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基于棱镜反射光栅的低串扰自由立体投影显示方法被引量：3
《红外与激光工程》2019年第6期477-482,共6页谭艾英 尹韶云 夏厚胤 江海波 陈建军 杨若夫 
国家自然科学基金(61475199,61605208);国家重点研发计划(2017YFB1002900)
为解决传统柱透镜自由立体投影显示中像差和视几何引起的串扰和视点数受限问题,基于回归反射,提出了一种棱镜反射光栅自由立体投影显示方法。通过分析其3D成像的原理,对棱镜反射光栅自由立体投影显示进行仿真,发现该方法在水平视宽相同...
关键词：自由立体投影 棱镜反射光栅 低串扰3D 多视点 
多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计
《激光与光电子学进展》2018年第6期218-223,共6页赵可为 谭艾英 尹韶云 蔡文涛 杨若夫 陈建军 佟首峰 
国家自然科学基金(61605208;61475199);重庆市重点产业共性关键技术创新专项项目(2015zdcy-ztzx70006)
提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法,该方法利用紫外增强PIN光电二极管,同时快速测量曝光机照面多点的光强,通过在传统电流-电压放大电路的基础上进行改进,同时使用复合放大的方法,大大提高了曝光机照度均匀度多点测量方法的重复性...
关键词：测量 照度均匀度 多点测量 光刻技术 光刻机 实时检测 
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