田野

作品数：1被引量：1H指数：0
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供职机构：吉林省科学技术厅更多>>
发文主题：场发射显示器场发射特性表面粗糙度氮化硼薄膜薄膜厚度更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《吉林大学学报（理学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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氮化硼薄膜的厚度对场发射特性的影响被引量：1
《吉林大学学报（理学版）》2003年第3期352-355,共4页顾广瑞 李英爱 刘艳梅 陶艳春 何志 殷红 李卫青 冯伟 白玉白 田野 赵永年 
国家自然科学基金(批准号:59831040).
利用射频磁控溅射方法,在n型(100)Si基底上沉积了不同厚度(54～124nm)的纳米氮化硼(BN)薄膜.红外光谱分析表明,BN薄膜结构为六角BN(h-BN)相(1380cm-1和780cm-1)结构.在超高真空系统中测量了不同膜厚的场发射特性,发现阈值电压随着厚度...
关键词：氮化硼薄膜 薄膜厚度 场发射特性 薄膜结构 阈值电压 表面粗糙度 场发射显示器 
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