李卫青

作品数：7被引量：19H指数：2
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供职机构：吉林大学材料科学与工程学院超硬材料国家重点实验室更多>>
发文主题：氮化硼薄膜场发射特性场发射发射电流薄膜厚度更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《功能材料》《光谱学与光谱分析》《吉林大学学报（理学版）》《液晶与显示》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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BC_xN薄膜的紫外透过光谱研究被引量：4
《光谱学与光谱分析》2006年第1期102-105,共4页王玉新 冯克成 李英爱 李卫青 刘丽华 赵春红 赵永年 
国家自然科学基金(59831340)资助项目
利用射频磁控溅射方法以不同的溅射功率(80～130W)制备出具备紫外增透性能的BCN,BC2N和BC3N薄膜。傅里叶红外吸收光谱和X射线光电子能谱测量发现样品的组成原子之间均实现了原子级化合。溅射功率对薄膜的组分和紫外增透性能有很大影响,...
关键词：硼碳氮薄膜 透过率 增透膜 傅里叶红外吸收光谱 X射线光电子能谱 
表面热处理对氮化硼薄膜场发射特性的影响被引量：1
《功能材料》2004年第z1期2183-2185,共3页李卫青 顾广瑞 李英爱 何志 冯伟 刘丽华 赵春红 赵永年 
用RF磁控溅射的方法在最佳沉积条件下在Si(100)基底上沉积了纳米氮化硼薄膜,然后对薄膜在真空度低于5×10-4Pa、温度分别为800℃和1000℃条件下进行了表面热处理,分别用红外光谱、原子力显微镜以及不同退火温度的场发射试验对薄膜进行...
关键词：氮化硼薄膜 表面热处理 场发射 发射电流 阈值电场 
氢、氧等离子体处理对氮化硼薄膜场发射特性的影响
《功能材料》2004年第z1期2196-2198,共3页李卫青 顾广瑞 李英爱 何志 冯伟 刘丽华 赵春红 赵永年 
用RF磁控溅射的方法在Si(100)基底上沉积了纳米氮化硼薄膜,然后分别用氢、氧等离子体对薄膜表面进行了处理,用红外光谱、原子力显微镜、光电子能谱以及场发射试验对薄膜进行了研究,结果表明氢等离子体使BN薄膜表面NEA增加,阈值电场降低...
关键词：氮化硼薄膜 场发射 表面处理 阈值电场 发射电流 
氮化硼薄膜的厚度对场发射特性的影响被引量：1
《吉林大学学报（理学版）》2003年第3期352-355,共4页顾广瑞 李英爱 刘艳梅 陶艳春 何志 殷红 李卫青 冯伟 白玉白 田野 赵永年 
国家自然科学基金(批准号:59831040).
利用射频磁控溅射方法,在n型(100)Si基底上沉积了不同厚度(54～124nm)的纳米氮化硼(BN)薄膜.红外光谱分析表明,BN薄膜结构为六角BN(h-BN)相(1380cm-1和780cm-1)结构.在超高真空系统中测量了不同膜厚的场发射特性,发现阈值电压随着厚度...
关键词：氮化硼薄膜 薄膜厚度 场发射特性 薄膜结构 阈值电压 表面粗糙度 场发射显示器 
纳米TiO_2薄膜的结构与光电特性被引量：5
《光散射学报》2003年第1期38-41,共4页顾广瑞 李英爱 陶艳春 何志 殷红 李卫青 赵永年 
用射频磁控溅射方法制备出厚度大约15-225nm的TiO2薄膜。Raman光谱测量显示,TiO2薄膜主要是金红石结构(含少量板钛矿相)。紫外可见光吸收光谱表明,在纳米厚度(100nm)范围内,TiO2薄膜的带隙宽度随着薄膜厚度的变化而变化。室温下测量TiO...
关键词：纳米Ti02薄膜 射频磁控溅射 二氧化钛薄膜 结构 光电特性 光谱分析 导电性 电阻率 
纳米厚度氮化硼薄膜的场发射特性被引量：2
《液晶与显示》2003年第1期10-13,共4页顾广瑞 李英爱 陶艳春 何志 殷红 李卫青 赵永年 
国家自然科学基金资助项目(59831040)
利用射频磁控溅射方法,在n型(100)Si基底上沉积了不同厚度(54～135nm)的纳米氮化硼(BN)薄膜。红外光谱分析表明,BN薄膜结构为六角BN(h BN)相(1380cm-1和780cm-1)。在超高真空系统中测量了不同膜厚BN薄膜的场发射特性,发现BN薄膜的场发...
关键词：纳米氮化硼薄膜 场发射特性 薄膜厚度 功函数 场发射平板显示器 
界面电子转移对纳米TiO_2薄膜导电性的影响被引量：6
《吉林大学学报（理学版）》2002年第3期273-275,共3页顾广瑞 何志 李英爱 张崇才 李卫青 殷红 赵永年 
国家自然科学基金 (批准号 :5 98310 40 )
研究纳米 Ti O2 薄膜的导电性与薄膜厚度和基底材料的关系 .结果表明 ,沉积在 Ti和Si基底上的 Ti O2 薄膜的电阻率随着膜厚的增加而非线性增大 ,分别经历了导体、半导体到绝缘体或半导体到绝缘体的电阻率范围的变化过程 ,Ti O2 薄膜导...
关键词：导电性 纳米TIO2薄膜 电阻率 界面电子转移 薄膜厚度 基底材料 二氧化钛 
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