王亚彬

作品数：3被引量：7H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
发文主题：湿敏元件湿敏材料传感器表面态硅更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《传感器与微系统》《信息技术》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
电容式聚酰亚胺湿敏元件保护膜研究被引量：1
《信息技术》2016年第4期69-72,共4页王成杨 王亚彬 金建东 郑丽 司良有 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2014AA06A505);中国电子科技集团公司第四十九研究所青年科技创新基金资助项目(QC2014005)
采用49-1,PI-5,DOW184以及CAB551四种有机物作为湿敏元件的保护层材料,制作带有保护层的电容式湿敏元件,并对其湿度响应特性与耐污染能力进行研究。实验结果表明,49-1具有更好的综合性能,其湿滞变化为0.18%RH,涂覆后响应时间为11s,污染...
关键词：湿度 传感器 电容式 保护层 
降低高分子电容式湿敏元件湿滞的实验研究被引量：6
《传感器与微系统》2015年第6期27-29,共3页郑丽 金建东 司良有 王成杨 张鹏 王亚彬 
针对高分子电容式湿敏元件的湿滞无法通过后续电路完全实现补偿的问题,提出了从高分子电容式湿敏元件本身降低湿滞的方法。主要从制作工艺、湿敏材料的选择两方面进行了实验验证,并对制作完成的高分子电容式湿敏元件进行性能测试与数据...
关键词：湿滞 湿敏元件 湿敏材料 
基于外部激活表面高温状态下的硅-硅键合被引量：1
《微纳电子技术》2015年第5期325-328,共4页王亚彬 王晓光 郑丽 王成杨 宋尔冬 
提出了一种应用于硅-硅键合过程中表面激活的新方法,采用复合激活的方式,使预键合的硅片表面分别通过化学溶液激活和UV光激活相互结合的手段获得较高的表面态。经键合机预键合后,在高温炉中完成原子轨道重叠,实现硅-硅键合。通过镜下检...
关键词：表面激活 表面态 高温退火 硅-硅直接键合(SDB) 空洞 键合强度 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部