许学敏

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供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>
发文主题:X射线双晶衍射SOM非晶硅激光再结晶激光更多>>
发文领域:理学电子电信更多>>
发文期刊:《中国激光》《应用科学学报》更多>>
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多层结构的X射线双晶衍射研究
《应用科学学报》1995年第3期347-351,共5页武蕴忠 许学敏 王渭源 滕琴 
国家自然科学基金和中国科学院上海功能材料与器件研究中心资助项目
用X射线双晶衍射术研究了玻璃薄层-铂膜-α-Al_2O_3多层结构。发现不同材料的玻璃层,使多层结构因热失配对铂膜产生不同的应力。对铂薄膜电阻器件的测量结果表明:应力引起器件的电阻值变化;不同的应力状态,产生不同方向...
关键词:X射线双晶衍射 多层结构 薄膜 玻璃 铂膜 陶瓷 
金属薄片上无定形硅(SOM)的激光再结晶研究
《中国激光》1990年第7期416-419,411,共5页林成鲁 邢昆山 陈莉芝 许学敏 谭松生 邹世昌 
以CW Ar^+激光对非晶硅再结晶得到了SOM(Silicon on Metal)多晶硅新材料。其晶粒大小为10×40μm^2,杂质分布均匀,电学性能大大改善.用这种SOM材料已制备成功在1bar压力范围内灵敏度为6mV/V的性能良好的压力传感器。
关键词:激光 非晶硅 再结晶 SOM 
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