张增星

作品数：5被引量：11H指数：2
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发文主题：电极压电MEMSALN麦克风更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电气工程理学电子电信更多>>
发文期刊：《无机材料学报》《现代电子技术》《物理学报》《微纳电子技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划山西省高等学校科技创新项目更多>>
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退火条件对磁控溅射MgO-Ag_(3)Sb-Sb_(2)O_(4)柔性薄膜热电性能的影响
《无机材料学报》2022年第12期1302-1310,共9页刘丹 赵亚欣 郭锐 刘艳涛 张志东 张增星 薛晨阳 
国家自然科学基金青年项目(62001428);国家重点研发计划(2019YFB2004800);山西省高等学校科技创新项目(2020L0309)。
MgAgSb是一种具有潜力且元素储量相对丰富的室温热电材料,有望用于构建高性能可穿戴温差电池。本研究尝试在聚酰亚胺(PI)基底上磁控溅射制备MgAgSb薄膜,并系统研究退火条件对其热电性能的影响。结果表明样品未形成纯相的MgAgSb柔性热电...
关键词：MgAgSb 退火处理 热电性能 柔性薄膜 
基于AlN的压电MEMS超声换能器阵列被引量：3
《传感器与微系统》2022年第3期51-53,共3页王强 杨婷婷 薛小斌 臧俊斌 张增星 薛晨阳 
国家自然科学基金委重大科研仪器项目(61727806);2020年度山西省研究生教育创新项目(2020 BY101)。
针对目前超声换能器机电耦合系数较低的问题,本文设计了一种以氮化铝(AlN)为压电材料的微机电系统(MEMS)超声换能器阵列以提高机电耦合系数。在COMSOL Multiphysics中用模态分析确定了超声换能器工作在一阶模态下有最大的声场输出,并给...
关键词：压电超声换能器 有限元分析 模态分析 应力分析 阻抗测试 
基于SOI的压电薄膜式水听器被引量：2
《微纳电子技术》2020年第10期787-792,共6页王强 杨婷婷 赵龙 薛小斌 臧俊斌 张增星 薛晨阳 
国家自然基金委重大科研仪器项目(61727806)。
针对目前压阻式水听器在工作时需要外加电源、对温度敏感以及制造过程复杂的问题,提出了一种以AlN为压电材料的压电薄膜式水听器。该水听器由带有上下电极的压电薄膜以及绝缘体上硅(SOI)衬底组成。根据理论计算和有限元仿真分析对水听...
关键词：压电水听器 微电子机械系统(MEMS) ALN 微纳尺度 绝缘体上硅(SOI) 
磁悬浮式电磁-摩擦复合生物机械能量采集器被引量：5
《物理学报》2017年第22期289-300,共12页温涛 何剑 张增星 田竹梅 穆继亮 韩建强 丑修建 薛晨阳 
国家高技术研究发展计划(批准号:2015AA042601);国家自然基金(批准号:61525107,51605449,51422510,51675493)资助的课题~~
能量采集技术已经成为智能终端领域的一项关键技术,关于人体机械能采集方式也有大量的研究.针对人体机械能采集的应用需求,本文提出一种基于磁悬浮结构的电磁-摩擦复合式能量采集器.该能量采集器以磁悬浮结构作为核心部件,具有结构简单...
关键词：磁悬浮 复合发电机 摩擦发电机 自供电计步器 
面向采煤机械在线状态监测系统设计被引量：1
《现代电子技术》2017年第8期163-165,169,共4页王大为 韩建强 薛晨阳 穆济亮 王永华 张增星 
国家"863"计划:面向重型采煤机械在线状态监测的微纳系统三维异质集成技术(2015AA042601)
随着无线传感网络在人们日常生活中的应用越来越普及,传感网络节点的可持续工作能力问题日益突出。对无线传感网络节点的功耗问题进行分析,并设计出一种面向采煤机械的基于MSP430微控芯片的低功耗在线状态监测系统。根据低功耗在线状态...
关键词：低功耗系统 无线传感 状态监测 采煤机械 
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