韩晓英

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：中国兵器工业第五二研究所更多>>
发文主题：掺磷俄歇分析掺硼纳米ZNO薄膜电学性质更多>>
发文领域：电气工程理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《电子显微学报》《理化检验（物理分册）》更多>>
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纳米ZnO薄膜掺磷、硼的电学性能研究被引量：3
《理化检验（物理分册）》2003年第1期19-21,共3页王文青 陈晓伟 高军 韩晓英 宋淑芳 赵金茹 
用扫描俄歇探针研究了掺杂磷、硼对纳米ZnO薄膜电学性能的影响。结果表明 ,ZnO薄膜掺入磷或硼后 ,可以显著降低薄膜电阻 ;改变扩散温度可以改变磷、硼浓度 ,从而改变Zn/O化学计量比 ,Zn/O化学计量比越大 ,薄膜电阻越小 ;掺磷或硼的ZnO...
关键词：掺磷 俄歇分析 纳米ZNO薄膜 电学性质 掺硼 氧化锌薄膜 扩散温度 
掺P、B对纳米Zn-0薄膜电学特性的影响
《电子显微学报》2002年第5期659-660,共2页王文青 宋淑芳 艾家和 韩晓英 赵金茹 许宏飞 史利军 
关键词：纳米Zn-O薄膜 电学特性 掺硼 纳米氧化锌薄膜 掺磷 
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