俄歇分析

作品数：29被引量：21H指数：2
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相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>
相关作者：韩晓英王文青赵金茹宋淑芳王改莲更多>>
相关机构：中国科学院中国兵器工业第五二研究所北京科技大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
相关期刊：《半导体技术》《钢铁》《核技术》《核化学与放射化学》更多>>
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铝焊垫俄歇分析中荷电效应影响及其降低方法被引量：2
《半导体技术》2017年第1期74-80,共7页虞勤琴 李明 段淑卿 
上海市科学技术委员会研发公共服务平台建设资助项目(14DZ2294800)
铝焊垫表面残留物的检测是确保铝焊垫质量的重要指标。俄歇电子能谱仪(AES)由于检测区域小、表面分析灵敏度高,被广泛用于集成电路(IC)芯片制造中铝焊垫的表面成分分析,但荷电效应的存在常常会影响俄歇分析的结果。铝焊垫分析过程中,消...
关键词：铝焊垫 俄歇电子能谱 荷电效应 表面分析 样品处理 
FGH96合金粉末的俄歇分析及预热处理被引量：2
《中国有色金属学报》2012年第10期2797-2804,共8页刘建涛 张义文 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2010CB631204)
针对等离子旋转电极工艺制备的FGH96合金粉末,采用俄歇电子能谱对合金粉末的颗粒表面进行成分分析,并利用透射电镜对预热处理后粉末中的碳化物演变进行研究。结果表明:FGH96合金粉末的颗粒表面明显存在O、C和Ti元素的偏聚,原始合金粉末...
关键词：FGH96合金粉末 俄歇分析 预热处理 碳化物 
镀膜金刚石膜层的俄歇分析被引量：1
《金刚石与磨料磨具工程》2012年第1期50-52,共3页徐燕军 柳成渊 尹翔 沈翔 罗锡裕 
镀膜金刚石在现代金刚石制品中的应用愈来愈重要,我们对镀铬和镀钛两种金刚石的镀层作了俄歇分析。结果表明:俄歇能较准确分析膜层元素原子数分数、膜层厚度;所用镀铬和镀钛金刚石,镀层中分别除碳、铬元素,碳、钛元素外,均含有氧元素,...
关键词：镀膜金刚石 俄歇分析 镀层 
因子分析技术在铀与CO,O_2反应俄歇分析中的运用被引量：2
《核化学与放射化学》2005年第4期198-202,共5页杨江荣 蒋春丽 陆雷 肖红 汪小琳 
运用因子分析技术和Multipak软件中的TFA功能对铀分别在CO和O2气氛中的俄歇谱进行了处理。分析表明,因子分析方法能有效地解决C(KLL)和U(LMM)俄歇峰中的重峰问题,并能从原始数据中剥离出纯组元;同时还清楚地表明,铀与CO在300℃作用1 h后...
关键词：铀 CO O2 因子分析 俄歇 
纳米ZnO薄膜掺磷、硼的电学性能研究被引量：3
《理化检验（物理分册）》2003年第1期19-21,共3页王文青 陈晓伟 高军 韩晓英 宋淑芳 赵金茹 
用扫描俄歇探针研究了掺杂磷、硼对纳米ZnO薄膜电学性能的影响。结果表明 ,ZnO薄膜掺入磷或硼后 ,可以显著降低薄膜电阻 ;改变扩散温度可以改变磷、硼浓度 ,从而改变Zn/O化学计量比 ,Zn/O化学计量比越大 ,薄膜电阻越小 ;掺磷或硼的ZnO...
关键词：掺磷 俄歇分析 纳米ZNO薄膜 电学性质 掺硼 氧化锌薄膜 扩散温度 
p型扩散区(SiO_2/Si系扩Ga)的俄歇分析被引量：1
《Journal of Semiconductors》2002年第10期1088-1092,共5页孙瑛 王凤英 
采用Ga在SiO2 /Si系扩散途径 ,对扩Ga硅片进行了俄歇分析 ,在p型区未发现重金属杂质 ,表明热氧化SiO2层对外来重金属有良好的屏蔽作用 ,而且有利于提高硅器件的电参数性能、稳定性和可靠性 .
关键词：SiO2/Si系扩Ga SiO2层 镓扩散 重金属杂质 俄歇分析 
液相烧结钨合金快冷增韧的俄歇分析被引量：1
《兵器材料科学与工程》2000年第4期47-50,共4页齐芸馨 王改莲 季文源 马诗熙 
天津市自然科学基金
用扫描俄歇探针 ( SAM)结合工艺试验研究了烧结态和经真空热处理的 95W-Ni-Fe合金冷却速度对其性能的影响。结果表明 ,磷是引起该合金界面脆化的重要因素 ;快冷可以明显抑制磷的界面偏聚 ,有效提高该合金的延性和韧性。
关键词：钨合金 磷 界面偏聚 扫描俄歇探针 
空间生长GaAs材料多孔部分的俄歇能谱分析与阴极荧光形貌观察
《功能材料与器件学报》2000年第4期332-334,共3页李韫言 蔚燕华 李成基 
在空间生长SI GaAs的某些部位有汽泡产生 ,经俄歇分析 ,汽泡表面约有 1 0nm的砷层 ,它从半绝缘砷化镓内部逸出 ,导致其成为半导体。用阴极荧光形貌观测了其多晶结构。
关键词：砷化镓 汽泡 俄歇分析 阴极荧光 
金属卤化物灯石英玻璃管杂质含量的俄歇分析
《灯与照明》1999年第1期22-24,共3页王海鸥 李中 
介绍了俄歇电子能谱仪在分析金属卤化物灯石英玻璃管杂质含量方面的应用，测试分析说明，石英管中的杂质会严重影响灯的质量，其中碱金属钾含量过高能引起石英玻璃管严重的早期发白。
关键词：金属卤化物灯 石英玻璃管 杂质 俄歇分析 
发动机曲轴A_k值下降原因的俄歇分析
《物理测试》1998年第2期36-38,共3页唐文泰 赵彤 
经使用扫描俄歇探针对A_K值不符合要求的曲轴进行了断口检验分析,发现断口上沿晶断裂的脆性区域中磷含量显著高于穿晶断裂的韧性区。有的样品中,晶界面上和晶内的磷含量相差二十多倍。因而分析认为,磷元素在晶界面的大量偏聚是引起曲轴...
关键词：曲轴 俄歇分析 磷 晶界偏聚 发动机 Ak值 
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