谭啸

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：北京航空航天大学更多>>
发文主题：尾喷管玻璃基MEMS传感器掩膜板压差更多>>
发文领域：航空宇航科学技术电子电信文化科学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《航空动力学报》《推进技术》更多>>
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毫米级空气轴承的结构与MEMS制造工艺研究
《推进技术》2018年第5期1122-1133,共12页余明星 李海旺 吕品 徐天彤 谭啸 
国家重点研发计划(2017YFF0107600)
为了研究应用于微型推进系统的微型空气轴承(Micro Air Bearing,MAB)的结构形式及微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)制造工艺,在保证性能需求的前提下,充分考虑轴承结构与MEMS工艺尤其是多层硅直接键合技术(Silicon Dir...
关键词：推进系统 微型空气轴承 微机电系统 刻蚀 键合 
从双层到多层带有微结构的硅硅直接键合技术研究被引量：1
《航空动力学报》2016年第11期2628-2634,共7页袁星 陶智 李海旺 谭啸 孙加冕 
国家自然科学基金(51506002)
通过理论分析和实验验证对多层带有微结构的硅硅直接键合技术进行了研究.采用的硅片表面活化处理方法是亲水湿法,采用的键合工艺流程是先将硅片在键合机中进行预键合,再使用退火炉进行高温退火.其中预键合参数对多层键合成功与否起到决...
关键词：多层键合 预键合 正交实验 键合分析软件 键合率 
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