杨霖

作品数：3被引量：7H指数：2
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供职机构：工业和信息化部电子第五研究所更多>>
发文主题：测量技术衍射光刻工艺光刻基于图像更多>>
发文领域：机械工程理学一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《激光与光电子学进展》《机器人技术与应用》《环境技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金深圳市科技计划项目更多>>
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无封装光纤光栅应变传感器校准系统研究被引量：2
《环境技术》2023年第6期157-160,共4页郑术力 喻桂华 郑文炜 杨霖 纪春阳 
国家重点研发计划-微纳传感器芯片及封装特性原位测试技术课题,项目编号:2020YFB2008902。
为校准无封装的光纤布拉格光栅(Fiber Bragg Grating, FBG)应变传感器,设计了一套高精度的光纤光栅应变传感器校准系统,系统主要由一套高定位精度的水平位移装置和激光干涉仪组成。对FBGS-S02型的无封装FBG应变传感器进行校准测试,校准...
关键词：光纤光栅 应变传感器 校准系统 位移装置 
光刻套刻误差测量技术被引量：4
《激光与光电子学进展》2022年第9期381-392,共12页李一鸣 杨霖 王晓浩 单硕楠 邓富元 贺志学 刘政通 李星辉 
广东省基础与应用基础研究基金(2021B1515120007);国家自然科学基金(61905129);深圳市科技计划基础研究稳定支持(WDZC20200820200655001);鹏城实验室重大攻关项目。
集成电路制造中光刻工艺特征尺寸不断减小,制造商对套刻误差指标的要求逐步提升,对具有亚纳米精度的套刻误差测量技术与系统有极为迫切的需求。针对该需求,对比介绍了基于衍射原理的套刻测量(DBO)和基于图像的套刻测量(IBO)技术原理与特...
关键词：光刻工艺 集成电路 基于衍射的套刻误差测量 基于图像的套刻误差测量 
一种激光跟踪仪误差标定装置被引量：1
《机器人技术与应用》2022年第2期37-42,共6页方鹏 王海 杨霖 涂志健 
国家重点研发计划项目,项目编号2019YFB1310103;安徽省重点研究与开发计划,项目编号202004h07020011。
激光跟踪仪作为一种精密测量仪器近年来已得到广泛运用,因其精度受环境、仪器自身及操作等因素影响,其测量精度一直难以提升。针对这一问题,本文以激光跟踪仪系统的误差模型为基础,设计了一款激光跟踪仪的误差标定装置,提出基于标准距...
关键词：激光跟踪仪 阿贝误差 误差标定装置 
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