徐扬

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：长春理工大学更多>>
发文主题：超硬SUB半导体激光器硅靶溅射更多>>
发文领域：理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光机电信息》《长春理工大学学报（自然科学版）》更多>>
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基于AlN掩蔽膜的半导体激光器温度场分布研究
《长春理工大学学报（自然科学版）》2011年第2期59-61,共3页徐扬 高欣 乔忠良 邹微微 周路 薄报学 
运用ANSYS软件建立了808nm高功率半导体激光器内部热源分析模型,并对其进行瞬态温度及稳态温度模拟,讨论了SiO2及AlN材料掩蔽膜对器件内部温度场分布的影响。结果表明,有源区的平衡温度由器件的散热特性决定,用AlN材料代替SiO2材料制备...
关键词：半导体激光器 热分布 ANSYS软件 掩蔽膜 
AlN薄膜的热应力模拟计算被引量：1
《光机电信息》2011年第1期10-14,共5页邹微微 王玉霞 徐扬 张秀 
本文通过ANSYS有限元分析软件对薄膜的热应力进行了模拟计算,并通过理论计算验证了其合理性。模拟出了薄膜应力值及分布情况,分析了薄膜沉积温度与薄膜厚度对薄膜度应力的影响。从模拟的结果可以看出,薄膜上表面X方向应力主要集中在薄...
关键词：热应力 ALN薄膜 有限元 
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