张健

作品数：3被引量：5H指数：2
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供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文主题：LANGMUIR探针感应耦合等离子体发射光谱和光等离子体参数更多>>
发文领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《核聚变与等离子体物理》《材料导报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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高Al含量的亚稳β型Ti-Al-Mo-Nb-V系列钛合金的组织与力学性能
《材料导报》2024年第2期207-212,共6页张健 朱智浩 张爽 董闯 
大连市科技创新基金重点学科重大课题(2020JJ25CY004);军委科技委2020年重点基础研究项目(2020JCJQZD165)。
目前,亚稳β钛合金的成分朝着更高Al含量和更高β稳定元素含量的方向发展,本工作基于典型亚稳β钛合金β-21S和TB18的成分设计思路,添加了更高含量的Al元素,同时添加了Mo、Nb、V三种β稳定元素,设计并利用铜模吸铸法制备了高Al含量的亚...
关键词：亚稳Β钛合金 高Al含量 显微组织 力学性能 
射频对非平衡磁控溅射沉积Cu膜的影响被引量：2
《核聚变与等离子体物理》2007年第3期264-268,共5页齐雪莲 任春生 张健 麻冰欣 马腾才 
国家自然科学基金资助项目(50277003和10505005)
用射频等离子体增强非平衡磁控溅射在Si100基底上沉积了金属Cu膜。研究了偏压,射频功率和磁场等沉积参数对膜性能的影响。用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)和电子能谱(EM)检测了膜的表面形貌,结构和成分。结...
关键词：射频 非平衡磁控溅射 CU膜 
射频感应等离子体的Langmiur探针和光谱诊断被引量：3
《核聚变与等离子体物理》2007年第2期156-162,共7页张健 任春生 齐雪莲 王友年 
国家自然科学基金资助项目(50277003)
用Langmuir探针对射频（13．56Mnz）感应等离子体进行了诊断，给出了Ar等离子体轴向和径向参数随气压的变化。采用发射光谱测量了等离子体中氩原子的750．3nm谱线强度随气压在轴向的变化，其变化趋势与Langmuir探针测量结果的变化趋势...
关键词：LANGMUIR探针 发射光谱 感应耦合等离子体 等离子体参数 
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