范欢欢

作品数：2被引量：10H指数：2
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供职机构：浙江大学更多>>
发文主题：原子层沉积光学特性沉积层抗反射精确控制更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《光学学报》更多>>
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基于白光干涉测量色散补偿薄膜的群延迟色散被引量：5
《光学学报》2012年第10期287-292,共6页李承帅 沈伟东 章岳光 范欢欢 刘旭 
为精确测量超快激光色散补偿薄膜的群延迟色散,提出了一种基于窗口傅里叶变换和样条插值去噪算法的新型白光干涉测量方案。计算机模拟表明此方法测试精度可达0.58fs2。分析了高斯噪声和光强平均效应对测试精度的影响,并使用此方法对实...
关键词：薄膜 群延迟色散 白光干涉 窗口傅里叶变换 
原子层沉积制备Ta_2O_5薄膜的光学特性研究被引量：5
《光学学报》2011年第10期280-285,共6页范欢欢 章岳光 沈伟东 李旸晖 李承帅 何俊鹏 刘春亮 刘旭 
浙江省科技厅项目(2010R10008);中央高校基本科研业务费专项资金(2010QNA5036);教育部留学回国人员科研启动基金项目资助课题
以乙醇钽[Ta(OC2H5)5]和水蒸气为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法分别在基板温度为250℃和300℃的K9和石英衬底上制备了Ta2O5光学薄膜。采用分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM...
关键词：薄膜 原子层沉积 Ta2O5薄膜 光学特性 
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