何俊鹏

作品数：3被引量：32H指数：3
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供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
发文主题：原子层沉积光学特性光学性能研究光学薄膜更多>>
发文领域：理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光学学报》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金中央高校基本科研业务费专项资金教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
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原子层沉积制备Ta_2O_5薄膜的光学特性研究被引量：5
《光学学报》2011年第10期280-285,共6页范欢欢 章岳光 沈伟东 李旸晖 李承帅 何俊鹏 刘春亮 刘旭 
浙江省科技厅项目(2010R10008);中央高校基本科研业务费专项资金(2010QNA5036);教育部留学回国人员科研启动基金项目资助课题
以乙醇钽[Ta(OC2H5)5]和水蒸气为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法分别在基板温度为250℃和300℃的K9和石英衬底上制备了Ta2O5光学薄膜。采用分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM...
关键词：薄膜 原子层沉积 Ta2O5薄膜 光学特性 
原子层沉积制备Al_2O_3薄膜的光学性能研究被引量：16
《光学学报》2010年第1期277-282,共6页何俊鹏 章岳光 沈伟东 刘旭 顾培夫 
国家自然科学基金(60778025);中国博士后科学基金(20081463)资助课题
研究了原子层沉积制备氧化铝薄膜的光学性能。以三甲基铝(TMA)和水为前聚体,分别在基板温度为250℃和300℃的K9和石英玻璃衬底上沉积了Al2O3光学薄膜。采用分光光度计,X射线光电子能谱(XPS),X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM),扫描电子...
关键词：薄膜光学 原子层淀积 A12O3薄膜 光学特性 
原子层沉积技术及其在光学薄膜中的应用被引量：11
《真空科学与技术学报》2009年第2期173-179,共7页何俊鹏 章岳光 沈伟东 刘旭 顾培夫 
国家自然科学基金资助项目(No.60778025)
回顾了原子层沉积(ALD)技术的发展背景,通过分析ALD的基本工艺,并与传统薄膜制备工艺进行了对比研究,介绍了它在膜层的均匀性、保形性以及膜厚控制能力等方面的优势。着重列举ALD在减反膜、紫外截止膜、折射率可调的薄膜、抗激光损伤薄...
关键词：原子层沉积 光学薄膜 前驱体 光子晶体 
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