章岳光

作品数:53被引量:295H指数:10
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供职机构:浙江大学更多>>
发文主题:光学薄膜吸收器原子层沉积宽波段滤光片更多>>
发文领域:理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
发文期刊:《光子学报》《物理学报》《真空科学与技术学报》《光学仪器》更多>>
所获基金:国家自然科学基金浙江省自然科学基金国家高技术研究发展计划固体激光技术国家级重点实验室基金更多>>
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基于原子层沉积技术的石英管表面减反射膜的制备被引量:3
《光学学报》2019年第3期372-379,共8页沐雯 沈伟东 杨陈楹 郑晓雯 王震 袁华新 袁文佳 章岳光 
装备预先研究项目(41423060201);国家自然科学基金(61705194)
采用原子层沉积(ALD)技术在石英管表面制备了薄膜,研究了该薄膜的均匀性,以及石英管的内径、外径、长度对沉积薄膜均匀性的影响。以单波长减反射膜为研究对象,实验测试的反射光谱与仿真结果一致,石英管表面最低反射率可降至0.17%。忽略...
关键词:表面光学 原子层沉积 石英管 减反射膜 均匀性 
离子束溅射制备Nb_2O_5、Ta_2O_5和SiO_2薄膜的光学、力学特性和微结构被引量:12
《光学学报》2017年第12期356-363,共8页袁文佳 沈伟东 郑晓雯 杨陈楹 章岳光 方波 沐雯 陈超楠 刘旭 
国家863计划(2015AA015904);中国博士后科学基金(2016M601936);博士后创新人才支持计划(BX201600135);中科院强激光材料重点实验室开放课题
研究了离子束溅射(IBS)制备的Nb_2O_5、Ta_2O_5和SiO_2薄膜的光学特性、力学特性以及薄膜微结构,分析了辅助离子源电压对薄膜特性的影响,并将电子束蒸发、离子辅助沉积和IBS制备的薄膜进行了对比。研究结果表明,IBS制备的薄膜具有更好...
关键词:薄膜 光学特性 机械特性 应力 微结构 离子束溅射 
1064nm分振幅光偏振测量仪的多层介质分束镜的设计和制备被引量:1
《光学学报》2017年第5期364-370,共7页袁文佳 沈伟东 章岳光 郑晓雯 沐雯 方波 杨陈楹 刘旭 
国家自然科学基金(61275161);国家863(2015AA015904);浙江省自然科学基金(LY13F050001);中国博士后科学基金资助项目(2016M601936);博士后创新人才支持计划(BX201600135)
设计和制备了一种用于1064nm分振幅光偏振测量仪(DOAP)的具有多层介质薄膜结构的差分相移分束镜。通过理论分析该DOAP系统的仪器矩阵参数,得到分束镜的最优参数,并用离子束溅射沉积方法制备了分束镜样品及其背面的减反射膜,其实测结果...
关键词:薄膜 分束镜 相位延迟 偏振测量 多层介质膜 
宽波段波状多层膜结构偏振分束器的设计与优化被引量:1
《物理学报》2014年第13期203-208,共6页彭皓 沈伟东 杨陈楹 章岳光 刘旭 
国家高技术研究发展计划(批准号:2012AA040401);国家自然科学基金(批准号:61275161);中央高校基本科研业务专项资金(批准号:2014FZA5004);浙江省自然科学基金(批准号:LY13F050001)资助的课题~~
本文基于二维光子晶体波状多层膜结构,提出了叠加两种不同膜厚的周期膜堆来拓宽偏振分束器有效带宽的方法.采用粒子群优化算法,建立偏振分束特性的评价函数,优化结构和薄膜厚度等参数,获得了中心波长565 nm,带宽220 nm,平均消光比大于30...
关键词:偏振分束器 光子晶体 光学薄膜 粒子群优化算法 
原子层沉积制备铱薄膜的特性研究被引量:2
《光学学报》2014年第10期311-315,共5页叶志杰 沈伟东 章岳光 张兴 袁文佳 李旸晖 刘旭 
国家高技术研究发展计划(2012AA040401);国家自然科学基金(61275161);浙江省自然科学基金(LY13F050001);中央高校基本科研业务费专项资金(2014FZA5004);江苏省先进光学制造技术重点实验室开放课题(KJS1304)
以乙酰丙酮铱[Ir(acac)3]和高纯氧为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法在基板温度为340℃的石英玻璃和硅基板上制备了金属铱薄膜。采用反射光谱测试仪、X射线电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等手...
关键词:薄膜 原子层沉积 Ir薄膜 光学特性 
基于亚波长二维光栅的入射角不敏感颜色滤光片研究被引量:3
《物理学报》2013年第6期186-191,共6页洪亮 杨陈楹 沈伟东 叶辉 章岳光 刘旭 
国家高技术研究发展计划(批准号:2012AA040401)资助的课题~~
提出了一种基于二维亚波长光栅的具有非偏振光入射下入射角不敏感特性的反射式颜色滤光片.采用严格耦合波分析方法详细分析了光栅周期、光栅层厚度以及固定光栅占空比下光栅的结构尺寸对反射率峰值、反射带位置及带宽的影响.结合入射角...
关键词:反射式滤光片 二维亚波长光栅 入射角不敏感 严格耦合波分析 
基于白光干涉测量色散补偿薄膜的群延迟色散被引量:5
《光学学报》2012年第10期287-292,共6页李承帅 沈伟东 章岳光 范欢欢 刘旭 
为精确测量超快激光色散补偿薄膜的群延迟色散,提出了一种基于窗口傅里叶变换和样条插值去噪算法的新型白光干涉测量方案。计算机模拟表明此方法测试精度可达0.58fs2。分析了高斯噪声和光强平均效应对测试精度的影响,并使用此方法对实...
关键词:薄膜 群延迟色散 白光干涉 窗口傅里叶变换 
飞秒激光器中超宽带色散补偿啁啾镜对的设计被引量:2
《物理学报》2012年第1期207-212,共6页牛海亮 章岳光 沈伟东 余鹏 李旸晖 刘旭 
中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:2010QNA5036);浙江省自然科学基金(批准号:Y1090504)资助的课题~~
根据设计目标和制备要求,以双啁啾作为啁啾镜膜系初始结构设计方法,详细分析了双啁啾调制系数以及双啁啾层数对啁啾镜反射特性和色散特性的影响,确立了两者之间的最佳取值组合.利用分析结果设计了单个啁啾镜,并实现了啁啾镜的配对设计,...
关键词:超快激光 色散补偿薄膜 双啁啾镜 啁啾镜对 
基于金属-介质薄膜的反射型彩色滤光片被引量:4
《光学学报》2011年第12期304-307,共4页余鹏 沈伟东 章岳光 牛海亮 刘旭 
浙江省自然科学基金(Y1090504);中央高校基本科研业务费专项资金(2010QNA5036)资助课题
基于诱导反射原理设计了一种可见光波段金属-介质薄膜结构的反射型彩色滤光片。高吸收铬和高反射铝的应用使它既能获得高反射率又有很高的宽波段截止度,通过改变介质匹配层的厚度实现适当的导纳匹配,得到了反射率大于72%、较高色饱和度...
关键词:光学薄膜 彩色滤光片 诱导反射 
原子层沉积制备Ta_2O_5薄膜的光学特性研究被引量:5
《光学学报》2011年第10期280-285,共6页范欢欢 章岳光 沈伟东 李旸晖 李承帅 何俊鹏 刘春亮 刘旭 
浙江省科技厅项目(2010R10008);中央高校基本科研业务费专项资金(2010QNA5036);教育部留学回国人员科研启动基金项目资助课题
以乙醇钽[Ta(OC2H5)5]和水蒸气为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法分别在基板温度为250℃和300℃的K9和石英衬底上制备了Ta2O5光学薄膜。采用分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM...
关键词:薄膜 原子层沉积 Ta2O5薄膜 光学特性 
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