袁文佳

作品数：7被引量：31H指数：3
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发文主题：硫化锌辐射制冷溅射制备离子束溅射离子束更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊：《光学学报》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
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基于原子层沉积技术的石英管表面减反射膜的制备被引量：3
《光学学报》2019年第3期372-379,共8页沐雯 沈伟东 杨陈楹 郑晓雯 王震 袁华新 袁文佳 章岳光 
装备预先研究项目(41423060201);国家自然科学基金(61705194)
采用原子层沉积(ALD)技术在石英管表面制备了薄膜,研究了该薄膜的均匀性,以及石英管的内径、外径、长度对沉积薄膜均匀性的影响。以单波长减反射膜为研究对象,实验测试的反射光谱与仿真结果一致,石英管表面最低反射率可降至0.17%。忽略...
关键词：表面光学 原子层沉积 石英管 减反射膜 均匀性 
离子束溅射制备Nb_2O_5、Ta_2O_5和SiO_2薄膜的光学、力学特性和微结构被引量：12
《光学学报》2017年第12期356-363,共8页袁文佳 沈伟东 郑晓雯 杨陈楹 章岳光 方波 沐雯 陈超楠 刘旭 
国家863计划(2015AA015904);中国博士后科学基金(2016M601936);博士后创新人才支持计划(BX201600135);中科院强激光材料重点实验室开放课题
研究了离子束溅射(IBS)制备的Nb_2O_5、Ta_2O_5和SiO_2薄膜的光学特性、力学特性以及薄膜微结构,分析了辅助离子源电压对薄膜特性的影响,并将电子束蒸发、离子辅助沉积和IBS制备的薄膜进行了对比。研究结果表明,IBS制备的薄膜具有更好...
关键词：薄膜 光学特性 机械特性 应力 微结构 离子束溅射 
1064nm分振幅光偏振测量仪的多层介质分束镜的设计和制备被引量：1
《光学学报》2017年第5期364-370,共7页袁文佳 沈伟东 章岳光 郑晓雯 沐雯 方波 杨陈楹 刘旭 
国家自然科学基金(61275161);国家863(2015AA015904);浙江省自然科学基金(LY13F050001);中国博士后科学基金资助项目(2016M601936);博士后创新人才支持计划(BX201600135)
设计和制备了一种用于1064nm分振幅光偏振测量仪(DOAP)的具有多层介质薄膜结构的差分相移分束镜。通过理论分析该DOAP系统的仪器矩阵参数,得到分束镜的最优参数,并用离子束溅射沉积方法制备了分束镜样品及其背面的减反射膜,其实测结果...
关键词：薄膜 分束镜 相位延迟 偏振测量 多层介质膜 
原子层沉积制备铱薄膜的特性研究被引量：2
《光学学报》2014年第10期311-315,共5页叶志杰 沈伟东 章岳光 张兴 袁文佳 李旸晖 刘旭 
国家高技术研究发展计划(2012AA040401);国家自然科学基金(61275161);浙江省自然科学基金(LY13F050001);中央高校基本科研业务费专项资金(2014FZA5004);江苏省先进光学制造技术重点实验室开放课题(KJS1304)
以乙酰丙酮铱[Ir(acac)3]和高纯氧为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法在基板温度为340℃的石英玻璃和硅基板上制备了金属铱薄膜。采用反射光谱测试仪、X射线电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等手...
关键词：薄膜 原子层沉积 Ir薄膜 光学特性 
离子束溅射制备Nb_2O_5光学薄膜的特性研究被引量：6
《物理学报》2011年第4期681-686,共6页袁文佳 章岳光 沈伟东 马群 刘旭 
国家自然科学基金(批准号:60708013;60608014);浙江省自然科学基金(批准号:Y1090504)资助的课题~~
研究了离子束溅射(IBS)制备的Nb2O5薄膜的光学特性、应力、薄膜微结构等特性,系统地分析了辅助离子源的离子束能量和离子束流对薄膜特性的影响.结果显示,在辅助离子源不同参数情况下,折射率在波长550nm处为2.310—2.276,应力值为-281—-...
关键词：Nb2O5薄膜 离子束溅射 光学特性 应力 
钛宝石飞秒激光器用色散补偿Gires-Tournois镜的研究
《物理学报》2011年第2期695-700,共6页马群 章岳光 沈伟东 罗震岳 张青 张淑娜 叶蓬 袁文佳 刘旭 魏志义 
国家自然科学基金(批准号:60708013;60608014)资助的课题~~
根据钛宝石飞秒激光器的色散补偿要求设计了单次反射平均补偿量为-60fs2的GT(Gires-Tournois)镜,采用离子束辅助沉积技术结合光学监控技术制作了器件.用分光光度计对650—950nm波段薄膜反射率进行测试,结果表明反射率测试曲线与设计曲...
关键词：色散补偿 钛宝石飞秒激光器 GT镜 离子束辅助沉积 
抗紫外辐射塑料显示面板的减反射膜被引量：7
《光学学报》2011年第2期282-285,共4页武江 沈伟东 袁文佳 章岳光 顾培夫 
国家973计划(2009CB320803);浙江省自然科学基金(Y1090504)资助课题
设计制备了一种抗紫外（UV）辐射的塑料显示面板的减反射膜。对常用的聚碳酸酯（PC）塑料面板,在垂直入射时,减反膜紫外波段300-380 nm的平均反射率大于99.5%,可见光波段420-750 nm的残余反射率为0.22%;在45°入射时,紫外波段300-360 n...
关键词：薄膜 减反射膜 塑料基板 抗紫外辐射 
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